레이저(2)와 CCD카메라(3)를 사용하여 광폭의 피측정체에 대하여 높이 프로파일을 측정하는 시스템에 있어서,

광폭의 피측정체의 직상부에 설치되어 피측정체의 전폭에 대하여 하향으로 직선상의 줄무늬 패턴을 조사할 수 있는 줄무늬 레이저 빔 조사장치(2)와;

상기 피측정체를 일부 중첩하면서 촬상할 수 있도록 피측정체의 일정 거리 전방에 설치되는 다수의 CCD카메라(3)와;

상기 각 CCD카메라(3)의 선단에 설치되어 상기 줄무늬 레이저 빔의 파장대만 통과시키는 광학 밴드패스필터와;

상기 각 CCD카메라(3)에 연결되어 영상을 획득하는 영상 획득기(5)와;

상기 획득된 영상을 처리하여 연속된 평면 영상을 합성하고, 이로부터 프로파일 정보를 계산하는 계산기(6)와;

상기 획득된 영상, 합성된 영상 및 프로파일 그래프를 표시하는 모니터(4)를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 다수의 카메라를 사용한 광폭의 프로파일 측정장치

등간격으로 배치된 다수의 가로선 및 세로선으로 구획된 프레임을 피측정체 위치에 세워서 설치한 후 다수의 CCD카메라(3)에 의하여 상기 프레임의 영상을 촬상하는 단계와;

상기 각 CCD카메라(3)의 영상 데이터에서의 각 가로선과 세로선의 교점들의 좌표를 입력영상 좌표점으로 정의하는 단계와;

이상적으로 상기 프레임이 전체로서 평면으로 촬상되었을 경우에 상기 각 교점들이 있어야 할 이상적인 목표 좌표를 출력영상 좌표점으로 정의하는 단계와;

신경회로망에 상기 입력영상 좌표들과 및 출력영상 좌표들을 입력하여 학습시킴으로써 각 CCD카메라(3)의 영상에 대한 보정에 필요한 과정을 획득하여 저장하는 단계와;

피측정체에 줄무늬 레이저 빔(2)을 조사하여 각 CCD카메라(3)에서 촬상하는 단계와;

상기 촬상된 영상을 구성하는 줄무늬에 대하여 가로방향 전역에 대하여 세로방향의 중심픽셀들의 좌표를 구하는 단계와;

상기 각 중심픽셀의 좌표들을 신경회로망의 입력 노드에 인가함으로써 출력 노드에 나타나는 정보에 의하여 높이 프로파일 정보로 획득하는 단계로 구성됨을 특징으로 하는 다수의 카메라(3)를 사용한 광폭의 프로파일 측정방법