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진공증착에 의한 중성자 검출용 후막 제조방법 및 그후막을 포함하는 중성자 검출용 금속판

  • 기술번호 : KST2015104714
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 중성자 검출을 위한 후막 및 알루미늄 기판을 포함하는 중성자 검출용 금속판에 있어서, 상기 알루미늄 기판의 상부면에 부착되고 보호막의 하부면에 부착되며, 두께 10∼50㎛인 희토류금속막;및 상기 희토류금속막의 상부면에 부착되고, 두께 200∼1000Å이며, 상기 희토류금속막의 산화를 방지하기 위해, 금속산화물을 소스로 하여 증착한 보호막을 포함하는 것을 특징으로 하는 중성자 검출용 금속판을 제공한다. 또한, 상기 알루미늄 기판 상부면에 부착되고, 상기 희토류금속막 하부면에 부착되며, 산화알루미늄을 소스로 하여 증착된 계면막을 더욱 포함하는 것을 특징으로 하는 중성자 검출용 금속판을 제공한다. 본 발명의 방법에 따라 제조된 후막을 포함하는 금속판을 중성자 검출에 사용할 경우, 제조원가가 낮고 두께 조절이 용이하며, 또한 다양한 형태의 기판에 적용이 가능하여, 중성자 검출기는 물론 중성자를 이용하는 다양한 실험에 경제적이며 효과적으로 이용이 가능하다. 금속 필름, 금속 포일, 중성자, 희토류, 가돌리늄(Gd) 필름, 진공증착, 증발율
Int. CL C23C 14/24 (2006.01)
CPC C23C 14/30(2013.01) C23C 14/30(2013.01) C23C 14/30(2013.01)
출원번호/일자 1020020082781 (2002.12.23)
출원인 재단법인 포항산업과학연구원
등록번호/일자 10-0489300-0000 (2005.05.03)
공개번호/일자 10-2004-0056210 (2004.06.30) 문서열기
공고번호/일자 (20050517) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2002.12.23)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 포항산업과학연구원 대한민국 경북 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정재인 대한민국 경상북도포항시남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인맥 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로 ***, *층 (양재동, 화승빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 포항산업과학연구원 대한민국 경북 포항시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2002.12.23 수리 (Accepted) 1-1-2002-0425689-99
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2004.06.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.06.15 수리 (Accepted) 4-1-2004-0025494-38
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2004.07.13 수리 (Accepted) 9-1-2004-0040390-02
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2004.10.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0445283-40
6 의견서
Written Opinion		 2004.12.22 수리 (Accepted) 1-1-2004-0606857-88
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2005.03.04 수리 (Accepted) 4-1-2005-5020373-24
8 등록결정서
Decision to grant		 2005.03.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0150616-55
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.05.14 수리 (Accepted) 4-1-2013-0019112-38
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.09.28 수리 (Accepted) 4-1-2016-5138263-79
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5211042-46
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
알루미늄 기판(100)을 포함하는 중성자 검출용 금속판에 있어서, 상기 알루미늄 기판(100)의 상부면에 부착되고 두께 10∼50㎛인 희토류금속막(300); 및 상기 희토류금속막의 산화를 방지하기 위해 금속산화물을 소스로 하여, 상기 희토류금속막(300)의 상부면에 두께 200∼1000Å이 되도록 증착된 보호막 (400) 을 포함하는 것을 특징으로 하는 중성자 검출용 금속판
2 2
제1항에 있어서, 상기 기판(100)과 상기 희토류금속막(300)의 밀착력을 높이기 위해 산화알루미늄을 소스로 하여, 상기 알루미늄 기판(100)과 상기 희토류금속막(300) 사이에 두께 200∼1000Å이 되도록 증착된 계면막(200) 을 더욱 포함하는 것을 특징으로 하는 중성자 검출용 금속판
3 3
알루미늄 기판(100)을 포함하는 중성자 검출용 금속판에 있어서, 알루미늄 기판(100)을 미러 처리한 후, 세척을 하는 단계; 상기 기판(100)을 기판 홀더에 장착한 후, 희토류금속물질을 소스로 하고 증발율을 분당 0
4 4
제3항에 있어서, 상기 기판(100)과 상기 희토류금속막(300)의 밀착력을 높이기 위해 산화알루미늄을 소스로 하여, 상기 희토류금속막(300) 진공증착의 전단계로서, 상기 기판(100)상부면에 두께 200∼1000Å이 되도록 계면막(200)을 더욱 진공증착하는 단계 를 더욱 포함하는 것을 특징으로 하는 중성자 검출용 후막 제조방법
5 4
제3항에 있어서, 상기 기판(100)과 상기 희토류금속막(300)의 밀착력을 높이기 위해 산화알루미늄을 소스로 하여, 상기 희토류금속막(300) 진공증착의 전단계로서, 상기 기판(100)상부면에 두께 200∼1000Å이 되도록 계면막(200)을 더욱 진공증착하는 단계 를 더욱 포함하는 것을 특징으로 하는 중성자 검출용 후막 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.