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진공증착을 이용한 금속 필름 제조방법

  • 기술번호 : KST2015104715
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 진공증착을 이용한 금속 필름을 제조함에 있어서, 기판(6,21,21')을 상온으로 유지하면서, 상기 기판(6,21,21')에 두께가 500∼1500Å인 버퍼층 (22,22')을 진공증착 시키는 단계; 상기 버퍼층(22,22') 상부면에 금속필름층 (23,23')을 증착시키되 상기 금속의 증발율이 0.3∼0.5㎛/min인 단계; 상기 버퍼층 (22,22') 및 금속필름층(23,23')이 부착된 기판을 대기중에 노출시킨 다음, 저온으로 유지하는 단계; 및 상기 버퍼층(22,22') 및 금속필름층(23,23')을 기판 (6,21,21')으로부터 분리(도2a)하거나 상기 금속필름층(23,23')을 상기 버퍼층 (22,22') 및 기판으로부터 분리(도2b)하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 필름의 제조방법을 제공한다. 본 발명의 방법을 이용하여 필름을 제조할 경우, 다양한 두께의 금속 필름을 소량으로 제조하는 것이 가능하며, 대형 압연시설이 불필요하므로 경제적이며 환경 친화적인 방법으로 필름 제조가 가능하다. 금속필름, 금속포일, 진공증착, 가돌리늄 필름, 버퍼층
Int. CL C23C 14/24 (2006.01)
CPC C23C 14/024(2013.01)C23C 14/024(2013.01)C23C 14/024(2013.01)
출원번호/일자 1020020082782 (2002.12.23)
출원인 재단법인 포항산업과학연구원
등록번호/일자 10-0489301-0000 (2005.05.03)
공개번호/일자 10-2004-0056211 (2004.06.30) 문서열기
공고번호/일자 (20050517) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2002.12.23)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 포항산업과학연구원 대한민국 경북 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정재인 대한민국 경상북도포항시남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인맥 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로 ***, *층 (양재동, 화승빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 포항산업과학연구원 대한민국 경북 포항시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2002.12.23 수리 (Accepted) 1-1-2002-0425690-35
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2004.06.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.06.15 수리 (Accepted) 4-1-2004-0025494-38
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2004.07.13 수리 (Accepted) 9-1-2004-0040391-47
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2004.10.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0445284-96
6 의견서
Written Opinion		 2004.12.22 수리 (Accepted) 1-1-2004-0606859-79
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2005.03.04 수리 (Accepted) 4-1-2005-5020373-24
8 등록결정서
Decision to grant		 2005.03.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0150617-01
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.05.14 수리 (Accepted) 4-1-2013-0019112-38
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.09.28 수리 (Accepted) 4-1-2016-5138263-79
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5211042-46
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
진공증착을 이용한 금속 필름을 제조함에 있어서, 기판(6,21,21')을 상온으로 계속 유지하면서, 상기 기판(6,21,21')에 두께가 500∼1500Å인 버퍼층(22,22')을 진공증착 시키는 단계; 상기 버퍼층(22,22') 상부면에 금속필름층(23,23')을 증착시키되, 상기 금속의 증발율이 0
2 2
제1항에 있어서, 상기 기판(6,21)은 표면에 산화알루미늄 피막이 형성된 알루미늄판이고, 상기 금속필름층(23)은 가돌리늄(Gd) 또는 디스프로슘(Dy)을 소스로 하여 증착되고, 상기 버퍼층(22)은 알루미늄을 소스로 하여 증착된 것을 특징으로 하는 금속 필름의 제조방법
3 3
제1항에 있어서, 상기 기판(6,21')은 철판이고, 상기 금속필름층(23')은 가돌리늄(Gd) 또는 디스프로슘(Dy)을 소스로 하여 증착되고, 상기 버퍼층(22')은 크롬(Cr)을 소스로 하여 증착된 것을 특징으로 하는 금속 필름의 제조방법
4 3
제1항에 있어서, 상기 기판(6,21')은 철판이고, 상기 금속필름층(23')은 가돌리늄(Gd) 또는 디스프로슘(Dy)을 소스로 하여 증착되고, 상기 버퍼층(22')은 크롬(Cr)을 소스로 하여 증착된 것을 특징으로 하는 금속 필름의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.