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다이아몬드 필름 감지막을 가스의 검출을 위한 센서로 사용하는 다이아몬드 필름 가스 센서에 있어서, 하나의 실리콘 웨이퍼 위에 정렬된 복수개의 다이아몬드 필름 감지막과; 일정한 표준저항률을 발생시키는 기준센서와; 상기 실리콘 웨이퍼를 구동시키는 모터구동부와; 센서로 사용중인 다이아몬드 필름 감지막의 저항률을 측정하고, 상기 모터구동부를 구동시키는 제어부를 포함하며, 상기 제어부는, 다이아몬드 필름 감지막의 저항률과 기준센서의 표준저항률의 비교를 통해, 센서로 사용중인 다이아몬드 필름 감지막의 수명이 종료된 것으로 판단되면, 상기 모터구동부를 통해 상기 실리콘 웨이퍼를 구동시켜서, 새로운 다이아몬드 필름 감지막을 센서로 사용하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 다이아몬드 필름 가스 센서
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제 1항에 있어서, 상기 기준 센서는, 외부 오염으로 인한 표준저항률의 변화가 발생하지 않도록, 가스 검출막 위에 폴리머 성분의 보호막을 부착한 것을 특징으로 하는 다이아몬드 필름 가스 센서
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가스의 검출을 위한 복수개의 다이아몬드 필름 감지막과, 표준저항률의 측정을 위한 기준 센서를 구비하는 다이아몬드 필름 가스 센서에 있어서, 하나의 다이아몬드 필름 감지막을 가스의 검출을 위한 센서로 사용하는 단계; 센서로 사용중인 다이아몬드 필름 감지막의 저항률과 기준 센서의 표준저항률을 측정하고 그 크기를 비교하는 단계; 상기에서 저항률과 표준저항률이 동일하지 않으면, 상기 센서로 사용중인 다이아몬드 필름 감지막을 이동시키고, 새로운 다이아몬드 필름 감지막을 센서로 사용하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 다이아몬드 필름 가스 센서의 가스 측정 방법
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가스의 검출을 위한 복수개의 다이아몬드 필름 감지막과, 표준저항률의 측정을 위한 기준 센서를 구비하는 다이아몬드 필름 가스 센서에 있어서, 하나의 다이아몬드 필름 감지막을 가스의 검출을 위한 센서로 사용하는 단계; 센서로 사용중인 다이아몬드 필름 감지막의 저항률과 기준 센서의 표준저항률을 측정하고 그 크기를 비교하는 단계; 상기에서 저항률과 표준저항률이 동일하지 않으면, 상기 센서로 사용중인 다이아몬드 필름 감지막을 이동시키고, 새로운 다이아몬드 필름 감지막을 센서로 사용하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 다이아몬드 필름 가스 센서의 가스 측정 방법
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