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써모파일 적외선 센서

  • 기술번호 : KST2015105144
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 멤브레인 구조의 고온부를 지지하는 실리콘지지대를 추가하여 구성한 써모파일 적외선 센서에 관한 것이다. 본 발명에 따른 써모파일 적외선 센서는, 실리콘 기판 상에 실리콘전극과 알루미늄으로 이루어상 열전쌍들을 포함하며, 멤브레인 구조의 중앙의 고온부와 상기 고온부의 양 측면에 형성된 저온부를 포함하는 써모파일 적외선 센서에, 상기 열전쌍들 사이에 상기 고온부와 저온부를 연결하는 실리콘 지지대를 더 형성한다. 멤브레인, 써모파일, 적외선 센서, 열전쌍, 제백효과, 지지대
Int. CL H01L 35/02 (2006.01) H01L 31/09 (2006.01)
CPC G01J 5/08(2013.01) G01J 5/08(2013.01) G01J 5/08(2013.01)
출원번호/일자 1020040070719 (2004.09.06)
출원인 재단법인 포항산업과학연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2006-0021982 (2006.03.09) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 취하
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 포항산업과학연구원 대한민국 경북 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김흥락 대한민국 경북 경주시
2 김영덕 대한민국 경북 포항시 남구
3 김광일 대한민국 경북 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 전영일 대한민국 광주 북구 첨단과기로***번길**, ***호(오룡동)(특허법인세아 (광주분사무소))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2004.09.06 수리 (Accepted) 1-1-2004-0402028-26
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2005.03.04 수리 (Accepted) 4-1-2005-5020373-24
3 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2009.09.07 무효 (Invalidation) 1-1-2009-0549970-41
4 보정요구서
Request for Amendment		 2009.09.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2009-0067783-20
5 무효처분통지서
Notice for Disposition of Invalidation		 2009.10.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2009-0079090-24
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.05.14 수리 (Accepted) 4-1-2013-0019112-38
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.09.28 수리 (Accepted) 4-1-2016-5138263-79
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5211042-46
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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실리콘 기판 상에 실리콘전극과 알루미늄으로 이루어상 열전쌍들을 포함하며, 멤브레인 구조의 중앙의 고온부와 상기 고온부의 양 측면에 형성된 저온부를 포함하는 써모파일 적외선 센서에 있어서, 상기 열전쌍들 사이에 상기 고온부와 저온부를 연결하는 실리콘 지지대를 더 형성하는 것을 특징으로 하는 써모파일 적외선 센서
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 실리콘 기판은 SOI 실리콘 기판이고, 상기 SOI 실리콘 기판의 상부실리콘층의 일부를 식각하여 상기 실리콘전극으로 형성하고, 상기 SOI 실리콘 기판의 상부실리콘층의 일부를 식각하지 않고 상기 실리콘지지대로 형성하는 것을 특징으로 하는 써모파일 적외선 센서
3 2
제 1 항에 있어서, 상기 실리콘 기판은 SOI 실리콘 기판이고, 상기 SOI 실리콘 기판의 상부실리콘층의 일부를 식각하여 상기 실리콘전극으로 형성하고, 상기 SOI 실리콘 기판의 상부실리콘층의 일부를 식각하지 않고 상기 실리콘지지대로 형성하는 것을 특징으로 하는 써모파일 적외선 센서
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.