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에칭액 및 전해동으로의 에칭 공정에서 발생하는 질산동폐액의 재활용 방법

  • 기술번호 : KST2015105348
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 동회로 기판 제조 공정에서 발생하는 동, 질산 함유 질산동 폐액으로부터 질산과 전해동을 회수하는 방법에 관한 것으로, 질산동 폐액으로부터 고형 슬러지를 여과한 후 진공증발시켜서 질산을 회수하고, 잔류하는 동 폐액을 전해채취하여 전해동을 회수하여 질산동 폐액을 친환경적으로 처리하고 질산과 전해동을 경제적으로 회수하는 방법에 관한 것이다.질산동 폐액, 에칭폐액, 전해동, 진공증발, 전해채취
Int. CL C02F 1/04 (2000.01) C02F 1/46 (2000.01)
CPC C02F 1/04(2013.01) C02F 1/04(2013.01) C02F 1/04(2013.01) C02F 1/04(2013.01) C02F 1/04(2013.01)
출원번호/일자 1020050104918 (2005.11.03)
출원인 재단법인 포항산업과학연구원
등록번호/일자 10-0742088-0000 (2007.07.16)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20070723) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.11.03)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 포항산업과학연구원 대한민국 경북 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박성국 대한민국 경상북도 포항시 남구
2 전희동 대한민국 경상북도 포항시 남구
3 이상길 대한민국 경북 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 조인제 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길**, *층(역삼동)(특허법인뉴코리아)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 포항산업과학연구원 대한민국 경북 포항시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2005.11.03 수리 (Accepted) 1-1-2005-0633608-94
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2006.09.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2006.10.16 수리 (Accepted) 9-1-2006-0066680-15
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2006.11.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0656503-63
5 의견서
Written Opinion
2007.01.08 수리 (Accepted) 1-1-2007-0017138-23
6 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2007.01.08 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0017155-00
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2007.04.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0205314-19
8 명세서 등 보정서(심사전치)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2007.05.17 보정승인 (Acceptance of amendment) 7-1-2007-0019548-71
9 등록결정서
Decision to grant
2007.07.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0376563-36
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.05.14 수리 (Accepted) 4-1-2013-0019112-38
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.09.28 수리 (Accepted) 4-1-2016-5138263-79
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5211042-46
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번호 청구항
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질산동 폐액으로부터 고형 슬러지를 여과하는 단계;상기 슬러지 여과된 질산동 폐액을 유리산(Free acid)도 50 g/l 이하, 동이온 농도 20 g/l 이상이 되도록 진공증발시키되, 반응조를 1,000ml 파이렉스 유리용기로 구성하고, 상기 반응조의 내부 하부에 히터를 형성하며, -750mmHg까지 진공도를 유지할 수 있는 진공고펌프를 포함하는 진공증발 장치를 이용하여 진공증발시킴으로서 질산을 회수하여 동이온 농도가 증가된 동 폐액을 형성하는 단계;상기 질산이 회수된 동 폐액을 전류밀도 300 ~ 560 A/m2, 동이온 농도 20 g/l 이상, 유리산 초기농도 50 g/l 이하, pH -0
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제 2항에 있어서,동 폐액을 전해채취할 때, 상기 동 폐액의 농도가 80 g/l 이상으로 증대되면 전해채취를 정지하고 상기한 전해채취 조건을 충족하도록 동 폐액을 보액하여 조성을 다시 조절하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 에칭액 및 전해동으로의 에칭 공정에서 발생하는 질산동 폐액의 재활용 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.