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ＲＦ 플라즈마 연소기술에 의한 나노 ＭｇＯ 분말 제조방법

  • 기술번호 : KST2015105380
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 PDP에서 유전층을 보호하고, 플라즈마 구동 유지 및 유지 전압을 낮게 해주는 MgO를 RF 플라즈마 연소 기술을 이용하여 나노 분말화 하고, 이를 성형 및 소결하여 응답속도를 향상 시킨 기술에 관한 것이다.본 발명은 RF 플라즈마 연소장치를 이용하여 MgO 나노 분말을 제조하고, 이를 성형 및 소결하여 PDP용 증착 타겟(Target) 형태로 RF 플라즈마 연소기술에 의한 나노 MgO 분말을 제조하는 방법에 관한 것이다.또한, 본 발명은 소결성과 목적 특성을 충족시키기 위해 RF 플라즈마 연소기술에의해 나노 MgO 분말을 제조하는 방법과 성형 및 소결을 거쳐 특성 향상을 시키는 효과가 있다.
Int. CL B82Y 40/00 (2011.01) B82B 3/00 (2006.01)
CPC C01F 5/02(2013.01) C01F 5/02(2013.01) C01F 5/02(2013.01) C01F 5/02(2013.01) C01F 5/02(2013.01)
출원번호/일자 1020050129113 (2005.12.23)
출원인 재단법인 포항산업과학연구원
등록번호/일자 10-1291481-0000 (2013.07.24)
공개번호/일자 10-2007-0067828 (2007.06.29) 문서열기
공고번호/일자 (20130730) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.12.23)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 포항산업과학연구원 대한민국 경북 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박언병 대한민국 경상북도 포항시 남구
2 양충진 대한민국 경북 포항시 남구
3 박종일 대한민국 경상북도 포항시 남구
4 변갑식 대한민국 경상북도 포항시 남구
5 손영근 대한민국 경상북도 포항시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 조인제 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길**, *층(역삼동)(특허법인뉴코리아)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 포항산업과학연구원 경북 포항시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2005.12.23 수리 (Accepted) 1-1-2005-0759167-71
2 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2010.12.23 수리 (Accepted) 1-1-2010-0850273-33
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2012.10.17 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2012.11.22 수리 (Accepted) 9-1-2012-0088101-14
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.01.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0050486-69
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.03.25 수리 (Accepted) 1-1-2013-0254822-90
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.03.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0254821-44
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.05.14 수리 (Accepted) 4-1-2013-0019112-38
9 등록결정서
Decision to grant		 2013.07.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0502713-64
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.09.28 수리 (Accepted) 4-1-2016-5138263-79
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5211042-46
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
RF에 의해 플라즈마를 발생시키는 RF플라즈마 토치부(15); 센트럴 가스와 RF발생 장치인 인덕션 코일(13)의 외벽에 분말이 흡착되지 않게 투입되는 절연개스 및 이송가스로 구성된 RF 플라즈마 연소장치를 이용하여 MgO 나노 분말을 제조하고, 이를 성형 및 소결하여 PDP용 증착 타겟(Target) 형태로 제조하되,MgO 나노 분말은 MgO 마이크론 분말을 분말 공급(powder feeder)통에 넣고 시편을 공급하고, 플라즈마를 발생시킨 후, 챔버내에 산화성 분위기를 형성시키고, 플라즈마 토치(플라즈마 torch) 주변부에 투입하는 가스 중 절연개스(sheath gas) 양을 불화성 기체와 산소를 혼합하여 사용하여 제조한 것을 특징으로 하는 나노 MgO 분말 제조 방법
2 2
제 1항에 있어서, 상기 플라즈마는 RF 플라즈마 power는 15-150kW로 조절하여 발생시키며, 불활성 기체의 양을 10-80 slpm, 산소 가스의 양을 10-100 slpm으로 투입하며, 센트럴개스(central gas)를 불활성 기체로 5-40 slpm 투입하며, 이송개스(carrier 개스)를 산소로 5-40 slpm투입하며, 냉각개스(quenching개스)를 불활성 기체로 50-400 slpm을 사용하여 제조한 것을 특징으로 하는 나노 MgO 분말 제조 방법
3 3
제 1항에 있어서, 금속성 노즐의 하단과 RF를 발생시키는 인덕션 코일(induction coil) 중심과 높이 간격을 3 cm 이내로 조절함을 특징을 하는 나노 MgO 분말 제조 방법
4 4
제 1항에 있어서, 제조된 MgO분말을 분산체를 이용하여 분산 후 성형하여 소결하여 PDP용 증착 타겟(Target) 형태로 제조함을 특징으로 하는 나노 MgO 분말 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.