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수소가스를 검출하는 장치에 있어서,수소와 반응하여 저항치가 변화하는 원소로 구성된 박막이 라인 형상으로 형성되어 있는 다수의 단위저항들이 상기 수소가스의 진행 방향과 평행하게 어레이를 형성하는 저항 어레이부;상기 저항 어레이부의 각 단위저항들의 저항값을 검출하는 저항검출수단;상기 수소가스와의 접촉시 상기 저항검출수단으로부터 입력되는 저항값들에 근거하여 상기 수소가스의 존재 여부 및 농도를 산출하여 출력하는 연산부; 및 상기 연산부로부터 입력되는 상기 수소가스의 유출 여부 및 농도를 표시하는 표시부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 수소가스 검출장치
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제 1항에 있어서, 상기 단위저항은 실리콘 기판상에 형성되어 있는 라인형상의 백금 박막 상에 팔라듐이 증착되어 형성되는 백금/팔라듐의 박막 라인으로 형성하고 있는 것을 특징으로 하는 수소가스 검출장치
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제 1항에 있어서,상기 수소가스와의 접촉시, 상기 수소가스가 상기 다수의 단위저항들을 순차적으로 접촉하면서 진행할 수 있도록 상기 수소가스의 진행경로를 가이드 하기 위하여, 상기 저항어레이부를 에워싸도록 튜브 형상의 마이크로 채널을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 수소가스 검출장치
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제 1항에 있어서, 상기 단위저항은 상기 수소가스의 진행방향에 대하여 직각방향으로 굴곡을 반복하는 지그재그 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 수소가스 검출장치
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제 1항에 있어서, 상기 연산부는 a) 상기 단위저항의 포화상태 미발생시 상기 입력되는 저항값들의 최대값에 근거하고,b) 상기 단위저항의 포화상태 발생시 상기 포화상태인 저항값을 갖는 단위저항의 수에 근거하여,상기 수소의 존재 여부 및 농도를 산출하는 것을 특징으로 하는 수소가스 검출장치
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수소와 반응하여 저항치가 변화하는 원소로 구성된 박막이 라인 형상으로 형성되어 있는 다수의 단위저항들이 수소가스의 진행 방향과 평행하게 어레이를 형성하는 장치를 사용하여 상기 수소가스를 검출하는 방법에 있어서, a) 상기 다수의 단위저항들로부터 상기 수소가스와 접촉시의 저항값을 검출하는 단계;b) 상기 검출된 상기 단위저항들의 저항값들에 근거하여 상기 수소가스의 존재 여부 및 농도를 산출하는 단계; 및 c) 상기 수소가스의 존재 여부 및 산출된 농도를 표시하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 수소가스 검출방법
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제 6항에 있어서, 상기 b) 단계는 a) 상기 단위저항의 포화상태 미발생시 상기 검출된 저항값들의 최대값에 근거하고,b) 상기 단위저항의 포화상태 발생시 상기 포화상태인 저항값을 갖는 단위저항의 수에 근거하여,상기 수소의 존재 여부 및 농도를 산출하는 것을 특징으로 하는 수소가스 검출방법
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