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기판을 제조하는 기판 제조 단계;상기 기판의 표면에 코팅층을 형성하는 코팅 단계; 및상기 기판을 백 플레이트에 접합시키는 접합 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 코팅용 타겟의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 기판은 Cr, Ti, Zr, Nb, W, Mo, Ta, Au, Ag, Al, Al 합금, NiCr, NiCrMo, CrAl, TiAl, ITO, Al2O3 및 ZrO2로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상의 재료로 이루어지는 것을 특징으로 하는 박막 코팅용 타겟의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 코팅 단계는,구리 또는 구리 합금의 코팅 분말을 상기 기판의 표면에 분사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 코팅용 타겟의 제조 방법
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제 3 항에 있어서,상기 코팅 분말의 평균 입도는 5 내지 100 마이크론인 것을 특징으로 하는 박막 코팅용 타겟의 제조 방법
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제 4 항에 있어서,상기 코팅 분말은 상기 기판으로부터 5 내지 50mm 떨어진 곳에서 분사되는 것을 특징으로 하는 박막 코팅용 타겟의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 코팅 단계는,상기 코팅 분말이 예열되어 혼합 챔버에 유입되는 분말 유입 단계;상기 혼합 챔버에 공급되는 주 가스와 상기 코팅 분말이 혼합되는 혼합 단계; 및상기 주 가스와 혼합된 상기 코팅 분말이 상기 기판에 분사되는 분말 분사 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 코팅용 타겟의 제조 방법
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제 6 항에 있어서,상기 코팅 분말은 600℃ 이하로 예열되고,상기 주 가스는 800℃ 이하로 가열되는 것을 특징으로 하는 박막 코팅용 타겟의 제조 방법
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제 6 항에 있어서,상기 주 가스는 질소, 헬륨 및 공기로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상의 가스를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 코팅용 타겟의 제조 방법
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제 6 항에 있어서,상기 주 가스는 10~40 kg/cm2 의 압력으로 상기 혼합 챔버에 공급되는 것을 특징으로 하는 박막 코팅용 타겟의 제조 방법
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제 6 항에 있어서,상기 코팅 분말은 1 내지 15 kg/h의 속도로 상기 혼합 챔버에 공급되는 것을 특징으로 하는 박막 코팅용 타겟의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 백 플레이트는 구리 또는 구리 합금으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 박막 코팅용 타겟의 제조 방법
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