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수소검출센서 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015105767
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본원 발명은 수소를 검출하는 수소검출센서에 관한 것으로서, 수소 검출을 위한 촉매의 표면적의 증가 및 반응속도와 감도의 향상을 위하여 판구조 또는 침상구조의 촉매를 구비하여 저농도 뿐아니라 고농도에서의 수소의 농도를 검출할 수 있도록 하는 수소검출센서 및 그 제조방법을 제공하는 것을 그 목적으로 하는 것으로서, 상술한 본원발명의 수소검출센서는 기판과; 상기 기판의 상부면에 증착 형성되는 산화막과; 상기 산화막의 상부에서 형성되는 적어도 하나 이상의 코일 형태의 히터와; 상기 히터를 포함하여 상기 산화막의 상부에 증착형성되는 절연층과; 상기 절연층의 상부에서 스퍼터링(SPUTTERING)에 의해 형성되는 촉매물질 층인 제 1 반응부와; 상기 제 1 반응부 상에서 포토레지스터(PR: Photo Register)를 매개로 하여 전기 도금 또는 증착에 의해 적어도 하나 이상의 판상 또는 침상 구조 중 어느 하나로 형성되는 촉매물질 층인 제 2 반응부;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다. 수소검출센서, 백금족 금속, 판상구조, 침상구조, 방열판구조의 촉매층
Int. CL G01N 27/12 (2006.01) G01N 27/00 (2006.01)
CPC G01N 27/12(2013.01)G01N 27/12(2013.01)G01N 27/12(2013.01)G01N 27/12(2013.01)G01N 27/12(2013.01)
출원번호/일자 1020070075389 (2007.07.27)
출원인 재단법인 포항산업과학연구원, 세종공업 주식회사
등록번호/일자 10-0919004-0000 (2009.09.18)
공개번호/일자 10-2009-0011620 (2009.02.02) 문서열기
공고번호/일자 (20090924) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.07.27)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 포항산업과학연구원 대한민국 경북 포항시 남구
2 세종공업 주식회사 대한민국 울산광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김흥락 대한민국 경북 경주시
2 이경일 대한민국 경북 포항시 북구
3 서호철 대한민국 울산 북구
4 이영태 대한민국 경북
5 조용준 대한민국 경북 영주시 문수면

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 홍성철 대한민국 서울특별시 금천구 가산디지털*로 ***, 에이스하이-엔드타워*제*층 ***호 홍익국제특허법률사무소 (가산동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 포항산업과학연구원 대한민국 경북 포항시 남구
2 세종공업 주식회사 대한민국 울산광역시 북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2007.07.27 수리 (Accepted) 1-1-2007-0546717-12
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2008.06.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2008.07.22 수리 (Accepted) 9-1-2008-0046336-24
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2009.02.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0079405-77
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2009.04.22 수리 (Accepted) 1-1-2009-0244292-84
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2009.04.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0244290-93
7 등록결정서
Decision to grant
2009.08.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0348521-08
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.05.14 수리 (Accepted) 4-1-2013-0019112-38
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.09.11 수리 (Accepted) 4-1-2015-5122424-70
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.09.28 수리 (Accepted) 4-1-2016-5138263-79
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5211042-46
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
실리콘(Si) 기판과; 상기 기판의 상부면에 증착 형성되는 실리콘 산화물질(SiO2)의 산화막과; 상기 산화막의 상부에서 형성되는 적어도 하나 이상의 히터와; 상기 히터를 포함하여 상기 산화막의 상부에 증착형성되는 절연층과; 상기 절연층의 상부에 형성되는 촉매물질 층인 제 1 반응부와; 상기 제 1 반응부 상에서 포토레지스터(PR: Photo Register)를 매개로 하여 적어도 하나 이상의 판상 또는 침상 구조 중 어느 하나로 형성되는 촉매물질 층인 제 2 반응부;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 수소검출센서
2 2
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3 3
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4 4
청구항 1에 있어서, 상기 히터는 코일 형태로 형성되며, 상기 코일과 상기 제 1 반응부 및 제 2 반응부는 백금족금속물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 수소검출센서
5 5
실리콘(Si) 기판 상부면에 실리콘 산화물질(SiO2)의 산화막을 증착한 후 코일 히터를 형성한 한 후 절연물질을 증착하여 절연층을 형성하는 절연층형성과정과; 상기 절연층 상부에 촉매물질 층의 제 1 반응부를 형성하는 제 1 반응부형성과정과; 상기 제 1 반응부 상에 포토레지스터를 이용하여 판상 또는 침상 중 어느 하나의 구조를 위한 패터닝을 수행하는 포토레지스터패터닝과정과; 상기 포토레지스터 패터닝 이후 촉매물질 층을 형성한 후 포토레지스터를 제거하여 판상 또는 침상 중 어느 하나의 구조의 제 2 반응부를 형성하는 제 2 반응부 형성과정;으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 수소검출센서 제조방법
6 6
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7 7
삭제
8 8
청구항 5에 있어서, 상기 히터는 백금족금속을 코일 형태로 형성되며, 상기 코일과 상기 제 1 반응부 및 제 2 반응부는 백금족금속물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 수소검출센서 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.