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주석 박막의 형상 제어방법

  • 기술번호 : KST2015105959
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 스퍼터링으로 주석을 증착하여 금속 질감과 색상 그리고 낮은 전기 전도도를 이루기 위해서 공정 변수를 제어하여 주석 박막의 섬 크기를 변화 시키고 섬과 섬간의 거리를 조절함으로써 전기 전도도를 낮출 수 있는 주석 박막의 형상 제어방법을 제공한다. 주석 박막의 형상 제어방법은 진공실 내에 구비되는 시편을 시편 홀더에 장착하는 단계, 진공실의 배기구를 통해 진공실 압력이 기설정압력 이하가 되도록 배기하는 단계, 진공실 압력이 기설정압력 이하가 되면 진공실의 가스 도입구를 통해 방전 가스를 주입하는 단계, 진공실 압력이 기설정압력 범위에 해당되면 전원 공급장치를 통해 스퍼터 소스에 기설정된 음의 전압을 공급해서 글로우 방전을 하는 단계, 및 스퍼터 타겟인 주석의 스퍼터링을 기설정시간 동안 실시하여 시편에 주석 박막을 형성하는 단계를 포함하며, 시편에 주석 박막의 형성시 진공실 내부 압력을 조절하여 주석 박막의 형상을 변화시켜 주석 박막의 전기 전도도를 가변한다. 주석, 박막, 스퍼터링, 진공, 증착
Int. CL C23C 14/34 (2006.01) C23C 14/14 (2006.01)
CPC C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01)
출원번호/일자 1020080082412 (2008.08.22)
출원인 재단법인 포항산업과학연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2010-0023569 (2010.03.04) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.08.22)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 포항산업과학연구원 대한민국 경북 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정재인 대한민국 경기 용인시 기흥구
2 양지훈 대한민국 경북 포항시 남구
3 박영희 대한민국 경상북도 포항시 남구
4 이경황 대한민국 울산 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 유미특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 서림빌딩 **층 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.08.22 수리 (Accepted) 1-1-2008-0599829-93
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2009.08.19 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2009.09.15 수리 (Accepted) 9-1-2009-0052643-67
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2010.09.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0391605-56
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2010.11.03 수리 (Accepted) 1-1-2010-0718057-14
6 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2011.01.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0021852-28
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.05.14 수리 (Accepted) 4-1-2013-0019112-38
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.09.28 수리 (Accepted) 4-1-2016-5138263-79
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5211042-46
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
진공실 내에 구비되는 시편을 시편 홀더에 장착하는 단계; 상기 진공실의 배기구를 통해 상기 진공실 압력이 기설정압력 이하가 되도록 배기하는 단계; 상기 진공실 압력이 기설정압력 이하가 되면 상기 진공실의 가스 도입구를 통해 방전 가스를 주입하는 단계; 상기 진공실 압력이 기설정압력 범위에 해당되면 전원 공급장치를 통해 스퍼터 소스에 기설정된 음의 전압을 공급해서 글로우 방전을 하는 단계, 및 스퍼터 타겟인 주석의 스퍼터링을 기설정시간 동안 실시하여 상기 시편에 주석 박막을 형성하는 단계 를 포함하며, 상기 시편에 주석 박막의 형성시 상기 진공실 내부 압력을 조절하여 주석 박막의 형상을 변화시켜 주석 박막의 전기 전도도를 가변하는 주석 박막의 형상 제어방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 시편에 주석 박막을 형성하는 단계에서 섬 구조(island structure)를 형성하는 주석의 섬과 섬간의 거리 조절을 통해 전기 전도도를 낮추는 주석 박막의 형상 제어방법
3 3
제2항에 있어서, 상기 진공실의 기설정압력은 10-6 토르인 주석 박막의 형상 제어방법
4 4
제3항에 있어서, 상기 시편에 주석 박막을 형성시 상기 진공실의 기설정압력 범위는 10-2 내지 10-4 토르인 주석 박막의 형상 제어방법
5 5
제4항에 있어서, 상기 기설정된 음의 전압은 200V~600V인 주석 박막의 형상 제어방법
6 6
제5항에 있어서, 상기 기설정시간은 5초 내지 120초인 주석 박막의 형상 제어방법
7 7
제1항 내지 제6항 가운데 어느 한 항에 있어서, 상기 방전 가스는 아르곤 가스인 주석 박막의 형상 제어방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.