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금속 할로겐화합물 공급관으로 금속 할로겐화합물을 공급하는 단계; 및
상기 금속 할로겐화합물의 공급 방향과 교차되되, 상기 금속 할로겐화합물 공급관에 적어도 하나의 환원제 공급관으로 환원제가 공급되어 혼합되는 단계를 포함하며,
상기 환원제는 공급되는 상기 금속 할로겐화합물의 흡입력에 의해 혼합되는 것을 특징으로 하는 방법
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제 2 항에 있어서, 상기 환원제 공급관은 상기 금속 할로겐화합물 공급관에 관통형성된 것을 특징으로 하는 방법
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제 2 항에 있어서, 상기 환원제 공급관은 끝단에 분사 기재가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 방법
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제 2 항에 있어서, 상기 금속 할로겐화합물은 기화온도 보다 높은 온도로 공급되는 것을 특징으로 하는 방법
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제 2 항에 있어서, 상기 혼합은 상기 금속 할로겐화합물의 기화온도 보다 높은 온도이되, 상기 환원제의 기화온도 미만의 온도에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 방법
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제 2 항에 있어서, 상기 환원제는 알카리금속 또는 알카리토금속을 포함하는 것을 특징으로 하는 방법
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제 2 항에 있어서, 상기 금속 할로겐화합물에서 금속은 Ti, Al, As, Sb, Sn, Be, B, Ta, Ge, V, Nb, Mo, Ga, Ir, Os, U 및 Re 로 이루어진 그룹에서 선택되는 것을 특징으로 하는 방법
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