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비접촉식 평탄도 검사장치 및 검사방법

  • 기술번호 : KST2015106084
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 비접촉식 평탄도 검사장치 및 검사방법에 관한 것으로,프레임 상부에 위치하여 피측정물을 고정하는 고정부와 상기 피측정물을 이송하기 위한 이송부와 상기 이송부에 의해 이송된 피측정물의 위치에 따른 변위값을 측정하기 위해 검사 프로파일에 따라 위치가 변화되는 검사스테이지와 상기 검사스테이지에 장착되어 피측정물의 위치에 따른 변위값을 측정하는 비접촉식 변위센서 및 상기 비접촉식 변위센서에 의해 측정된 결과로부터 피측정물의 평탄도를 연산하고 검사스테이지를 제어하기 위한 컴퓨터로 구성된 비접촉식 평탄도 검사장치 및 이를 이용한 검사방법에 대한 것이다.따라서, 모든 검사 공정이 자동화가 가능하고, 검사하고자 하는 피측정물의 형상에 관계없이 평탄도 검사가 가능하며, 단시간 내에 검사가 완료되고 생산라인에서 전수검사가 가능하므로 생산성을 향상시키는 효과를 제공할 수 있다.비접촉식, 평탄도, 검사장치, 변위센서
Int. CL G01B 11/24 (2006.01) G01B 17/06 (2006.01) G01B 5/20 (2006.01)
CPC G01B 11/306(2013.01) G01B 11/306(2013.01) G01B 11/306(2013.01) G01B 11/306(2013.01)
출원번호/일자 1020080105730 (2008.10.28)
출원인 재단법인 포항산업과학연구원, 주식회사 모팜
등록번호/일자 10-1523531-0000 (2015.05.21)
공개번호/일자 10-2010-0046742 (2010.05.07) 문서열기
공고번호/일자 (20150529) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.10.15)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 포항산업과학연구원 대한민국 경북 포항시 남구
2 주식회사 모팜 대한민국 울산광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 허정헌 대한민국 울산광역시 북구
2 이기범 대한민국 경상북도 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 홍성철 대한민국 서울특별시 금천구 가산디지털*로 ***, 에이스하이-엔드타워*제*층 ***호 홍익국제특허법률사무소 (가산동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 포항산업과학연구원 경북 포항시 남구
2 주식회사 모팜 울산광역시 북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.10.28 수리 (Accepted) 1-1-2008-0747372-13
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.05.14 수리 (Accepted) 4-1-2013-0019112-38
3 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2013.10.15 수리 (Accepted) 1-1-2013-0930043-18
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.04.30 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.06.11 수리 (Accepted) 9-1-2014-0048774-52
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.08.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0595467-18
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.10.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-1035283-12
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.10.28 수리 (Accepted) 1-1-2014-1035282-77
9 등록결정서
Decision to grant
2015.02.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0130256-09
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.09.28 수리 (Accepted) 4-1-2016-5138263-79
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.06.26 수리 (Accepted) 4-1-2018-0029516-32
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.03 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123558-61
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5211042-46
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
프레임 상부에 위치하여 피측정물을 고정하는 고정부와;상기 피측정물을 이송하기 위한 이송부와;상기 이송부에 의해 이송된 피측정물의 위치에 따른 변위값을 측정하기 위해 검사 프로파일에 따라 위치가 변화되는 검사스테이지와;상기 검사스테이지에 장착되어 피측정물의 위치에 따른 변위값을 측정하는 비접촉식 변위센서; 및 상기 위치에 대응하는 상기 변위값을 좌표상에 표시하고, 상기 변위값 중에서 최대값 및 최소값을 연결하여 기준선을 설정하며, 상기 기준선으로부터 기설정된 거리만큼 이격되며 상기 기준선과 나란하게 상기 기준선의 상부 및 하부에 각각 배치되는 상부 및 하부 규격선을 설정하고, 상기 변위값이 상기 상부 규격선과 상기 하부 규격선의 사이에 위치하는지 판단하는 컴퓨터;로 구성된 것을 특징으로 하는 비접촉식 평탄도 검사장치
2 2
제 1항에 있어서,상기 고정부는 전자석, 다수의 고정핀 및 다수의 고정지그 중 어느 하나를 선택하여 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 비접촉식 평탄도 검사장치
3 3
제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 검사스테이지는 제1이동부와 제2이동부로 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 비접촉식 평탄도 검사장치
4 4
고정부를 이용하여 피측정물을 고정하는 고정단계;와상기 고정부에 고정된 피측정물을 검사스테이지 상부로 이동하는 이동단계;와검사 프로파일에 따라 기설정된 위치로 이동하는 검사스테이지에 장착된 비접촉식 변위센서를 이용하여 피측정물의 변위값을 측정하는 검사단계;와상기 위치에서 측정된 변위값를 이용하여 컴퓨터에서 연산하고 평탄도를 분석하는 분석단계;를 포함하되,상기 분석단계는,상기 위치에 대응하는 상기 변위값을 좌표상에 표시하는 단계;상기 변위값 중에서 최대값 및 최소값을 연결하여 기준선을 설정하는 단계;상기 기준선으로부터 기설정된 거리만큼 이격되며, 상기 기준선과 나란하게 상기 기준선의 상부 및 하부에 각각 위치하는 상부 및 하부 규격선을 설정하는 단계;및 상기 변위값이 상기 상부 규격선과 상기 하부 규격선의 사이에 위치하는지 판단하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 비접촉식 평탄도 검사방법
5 5
제 4항에 있어서,상기 분석단계에서의 구간 평탄도는 인접한 위치에서의 변위값의 차이를 이용하여 측정하는 것을 특징으로 하는 비접촉식 평탄도 검사방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.