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표면이 평활한 다이아몬드상 탄소 박막 제조방법

  • 기술번호 : KST2015106087
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 다이아몬드상 탄소 박막의 제조방법에 관한 것으로 탄소를 함유한 가스를 분해하는 이온빔 방식에 의해 계면층 및 계면층상의 다이아몬드상 탄소 박막으로 이루어진 코팅층을 형성하는 다이아몬드상 탄소 박막 제조방법에 있어서, 다이아몬드상 탄소 박막 형성시의 양극 전류 및 기판 바이어스 전압을 조절하는 것에 의해 계면층 평균 표면조도에 대한 코팅층의 평균 표면조도의 비를 0.2 미만으로 유지하는 것을 특징으로 하는 표면이 평활한 다이아몬드상 탄소 박막의 제조방법이 제공된다. 다이아몬드상 탄소 박막(Diamond-Like CarbonFilm ; DLC), 표면조도, 양극 전류, 기판 바이어스 전압
Int. CL C23C 14/34 (2006.01) C23C 14/22 (2006.01) C23C 14/44 (2006.01)
CPC C23C 14/345(2013.01) C23C 14/345(2013.01) C23C 14/345(2013.01)
출원번호/일자 1020080133548 (2008.12.24)
출원인 재단법인 포항산업과학연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2010-0074977 (2010.07.02) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.12.20)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 포항산업과학연구원 대한민국 경북 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정재인 대한민국 경상북도 포항시 남구
2 양지훈 대한민국 경상북도 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 유미특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 서림빌딩 **층 (역삼동)

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.12.24 수리 (Accepted) 1-1-2008-0888953-47
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.05.14 수리 (Accepted) 4-1-2013-0019112-38
3 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2013.12.20 수리 (Accepted) 1-1-2013-1171587-19
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.09.03 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.10.14 수리 (Accepted) 9-1-2014-0080438-77
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.05.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0303031-46
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2015.07.07 수리 (Accepted) 1-1-2015-0658665-51
8 보정요구서
Request for Amendment
2015.07.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2015-0115901-90
9 [출원서등 보정]보정서(납부자번호)
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment(Payer number)
2015.08.06 수리 (Accepted) 1-1-2015-0696915-51
10 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2015.08.07 수리 (Accepted) 1-1-2015-0765621-30
11 보정요구서
Request for Amendment
2015.08.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2015-0129564-78
12 [출원서등 보정]보정서(납부자번호)
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment(Payer number)
2015.09.07 수리 (Accepted) 1-1-2015-0789816-98
13 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.09.07 수리 (Accepted) 1-1-2015-0868721-35
14 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.09.07 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0868722-81
15 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2016.01.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0018150-08
16 명세서 등 보정서(심사전치)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2016.02.15 보정승인 (Acceptance of amendment) 7-1-2016-0007431-13
17 심사전치출원의 심사결과통지서
Notice of Result of Reexamination
2016.04.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0240968-24
18 심사관의견요청서
Request for Opinion of Examiner
2016.05.09 수리 (Accepted) 7-8-2016-0016790-18
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.09.28 수리 (Accepted) 4-1-2016-5138263-79
20 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2018.02.20 수리 (Accepted) 1-1-2018-0177876-98
21 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5211042-46
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
탄소를 함유한 가스를 분해하는 이온빔 방식에 의해 계면층 및 계면층상의 다이아몬드상 탄소 박막으로 이루어진 코팅층을 형성하는 다이아몬드상 탄소 박막 제조방법에 있어서, 다이아몬드상 탄소 박막 형성시의 양극 전류 및 기판 바이어스 전압을 조절하는 것에 의해 계면층 평균 표면조도에 대한 코팅층의 평균 표면조도의 비를 0
2 2
탄소를 함유한 가스를 분해하는 이온빔 방식에 의해 계면층 및 계면층상의 다이아몬드상 탄소 박막으로 이루어진 코팅층을 형성하는 다이아몬드상 탄소 박막 제조방법에 있어서, 다이아몬드상 탄소 박막 형성시의 양극 전류 및 기판 바이어스 전압을 조절하는 것에 의해 계면층 최대 표면조도에 대한 코팅층의 최대 표면조도의 비를 0
3 3
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 양극 전류는 0
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.