| 요약 |
본 발명은 자동차 엔진의 유압 및 일반 산업용 압력계측 등 저압에서 고압에 이르기까지 넓은 영역의 압력 등을 측정할 수 있는 압력센서용 금속 박막형 스트레인 게이지 및 이를 포함하는 압력센서에 관한 것으로, 재질을 개선함으로써 고온강도 및 전기적 특성이 우수한 압력센서용 금속 박막형 스트레인 게이지 및 이를 갖는 압력센서를 제공하고자 하는 것이다. 본 발명은 압력센서용 금속 박막형 스트레인 게이지로서, 상기 스트레인 게이지는 저항체로 이루어지고, 상기 저항체는 50~60중량%의 Ni 및 40~50중량%의 Cr를 포함하는 Ni-Cr합금: 85~95중량%와 5~7중량%의 Al, 3~5중량%의 V, 0.3~0.7중량%의 Ce, 0.3~0.5중량%의 Si 및 잔부 Ti로 이루어진 Ti합금: 5~15중량%로 구성되는 것을 특징으로 하는 압력센서용 금속 박막형 스트레인 게이지 및 이를 갖는 압력센서를 그 요지로 한다. 본 발명은 크립강도등과 같은 고온강도 및 전기적 특성이 우수한 압력센서용 금속 박막형 스트레인 게이지 및 이를 갖는 압력센서를 제공함으로써, 저온은 물론 고온에서도 압력을 측정하는 압력측정분야 등에 바람직하게 응용될 수 있다. 박막형, 스트레인게이지, 스테인레스, 절연막, 압력센서
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