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무통전 주석 박막 코팅 방법

  • 기술번호 : KST2015106274
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 예시적인 실시예에 따른 무통전 주석 박막 코팅 방법은, 진공 챔버의 내부에 기판을 장착하고, 필라멘트를 통해 주석 소스를 가열하여 상기 기판 상에 아일랜드 형태의 주석 박막을 기상 증착하고, 상기 진공 챔버의 내부로 아르곤 가스를 주입하며 주석 스퍼터 타겟을 스퍼터링시키고, 상기 진공 챔버에 일정량의 산소 가스를 주입하여 상기 기판 상에 산화 주석 박막을 형성하는 것을 특징으로 한다. 무통전, 주석 박막, 산화, 열 기상증착, 스퍼터링
Int. CL C23C 14/08 (2006.01) C23C 14/34 (2006.01)
CPC C23C 14/086(2013.01) C23C 14/086(2013.01) C23C 14/086(2013.01) C23C 14/086(2013.01)
출원번호/일자 1020090130730 (2009.12.24)
출원인 재단법인 포항산업과학연구원, 주식회사 세스트
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2011-0073923 (2011.06.30) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 취하
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 포항산업과학연구원 대한민국 경북 포항시 남구
2 주식회사 세스트 대한민국 경북 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정재인 대한민국 경기 용인시 기흥구
2 양지훈 대한민국 경상북도 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 유미특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 서림빌딩 **층 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.12.24 수리 (Accepted) 1-1-2009-0801602-11
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.06.13 수리 (Accepted) 4-1-2011-0007555-45
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.02.06 수리 (Accepted) 4-1-2012-5024930-81
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.05.14 수리 (Accepted) 4-1-2013-0019112-38
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.09.28 수리 (Accepted) 4-1-2016-5138263-79
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.10.21 수리 (Accepted) 4-1-2016-0074071-92
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5211042-46
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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진공 챔버의 내부에 기판을 장착하고, 필라멘트를 통해 주석 소스를 가열하여 상기 기판 상에 아일랜드 형태의 주석 박막을 기상 증착하고, 상기 진공 챔버의 내부로 아르곤 가스를 주입하며 주석 스퍼터 타겟을 스퍼터링시키고, 상기 진공 챔버에 일정량의 산소 가스를 주입하여 상기 기판 상에 산화 주석 박막을 형성하는 무통전 주석 박막 코팅 방법
2 2
제1 항에 있어서, 상기 주석 박막의 두께를 200nm 이하로 증착하는 무통전 주석 박막 코팅 방법
3 3
제1 항에 있어서, 상기 산화 주석 박막의 두께를 300nm 이하로 증착하는 무통전 주석 박막 코팅 방법
4 4
제1 항에 있어서, 상기 주석 박막과 상기 산화 주석 박막의 증착 시간을 10분 이하로 하는 무통전 주석 박막 코팅 방법
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제1 항에 있어서, 상기 주석 스퍼터 타겟의 스퍼터링 시, 상기 산소 가스를 0~1000 sccm의 유량으로 주입하는 무통전 주석 박막 코팅 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.