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불화마그네슘 마이크로분말과 산화마그네슘 마이크로분말을 혼합하여 혼합 분말을 제조하는 단계;
고주파 플라즈마 장치를 이용하여 유도 플라즈마를 생성하는 단계;
상기 혼합 분말이 포함된 케리어 가스를 상기 유도 플라즈마의 상부로 분사함과 동시에 상기 유도 플라즈마의 하부로 냉각 가스를 분사하여 열분해 및 재성장 과정을 통해 상기 혼합 분말을 나노분말화하는 단계; 및
상기 나노분말을 냉각 및 수거하여 불화마그네슘이 도핑된 산화마그네슘 나노분말을 얻는 단계
를 포함하는 산화마그네슘 나노분말 제조 방법
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제1항에 있어서,
상기 혼합 분말을 제조하는 단계에서, 상기 불화마그네슘 마이크로분말과 상기 산화마그네슘 마이크로분말은 100㎛ 이하의 입경과 99% 이상의 순도를 가지는 산화마그네슘 나노분말 제조 방법
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제2항에 있어서,
상기 혼합 분말을 제조하는 단계에서, 상기 불화마그네슘 마이크로분말은 상기 산화마그네슘 마이크로 분말에 대해 0
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제1항에 있어서,
상기 유도 플라즈마를 생성하는 단계에서, 플라즈마 파워를 20kW 내지 60kW로 설정하고, 5,000K 내지 10,000K의 유도 플라즈마를 생성하는 산화마그네슘 나노분말 제조 방법
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제1항에 있어서,
상기 혼합 분말을 나노분말화하는 단계에서, 상기 유도 플라즈마의 상부에 센트럴 가스와 절연 가스를 함께 분사하는 산화마그네슘 나노분말 제조 방법
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제5항에 있어서,
상기 혼합 분말을 나노분말화하는 단계에서, 상기 케리어 가스로서 산소 가스를 5 내지 40slpm으로 투입하고, 상기 센트럴 가스로서 아르곤 가스를 5 내지 40slpm으로 투입하며, 상기 절연 가스로서 아르곤 가스와 산소 가스를 각각 10 내지 80slpm 및 10 내지 100slpm으로 투입하고, 상기 냉각 가스로서 아르곤 가스를 100 내지 400slpm으로 투입하는 산화마그네슘 나노분말 제조 방법
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제1항에 있어서,
상기 나노분말을 수거하는 단계에서, 분리통을 사용하여 마이크로 입자들을 분리시키고, 사이클론부를 사용하여 큰 나노입자들을 분리시키며, 필터부를 사용하여 상기 나노분말을 수거하는 산화마그네슘 나노분말 제조 방법
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