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임펄스 신호를 발생시키는 신호발생기;전기로의 일측에 설치되고, 상기 신호발생기의 임펄스 신호 발생에 따라, 상기 전기로에 진동을 발생시키는 진동발생기;상기 진동발생기로부터 이격되며 상기 전기로의 벽체 외부 둘레에 장착되고, 상기 진동발생기에서 발생되어 상기 전기로의 내부를 관통하며 외부로 전달되는 진동신호를 측정토록 제공되는 진동센서; 및상기 신호발생기에 임펄스 신호의 발생을 지시하고, 상기 진동센서가 측정한 진동신호를 분석하여 상기 전기로 내부의 상황을 추정하는 진동분석부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기로 내부의 상황분석장치
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제1항에 있어서,인덕터와 커패시터를 포함하여, 상기 신호발생기의 임펄스 신호를 상기 진동발생기에 전달하는 매칭 네트워크를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전기로 내부의 상황분석장치
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제1항에 있어서,상기 진동분석부에서 추정한 전기로 내부의 상황으로부터 상기 전기로의 전극봉에 투입되는 전력을 제어하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전기로 내부의 상황분석장치
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제1항에 있어서,상기 진동분석부가 분석한, 상기 전기로의 하부에 고형으로 형성되는 실리콘 카바이드 형상, 상기 전기로 내부 가스공간의 부피, 상기 가스공간 상부에 고형으로 형성되는 실리콘 카바이드의 일산화실리콘 형상, 및 상기 전기로 하부 용해 실리콘의 형상을 포함하는 분석결과 중에서 어느 하나를 표시하는 표시부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전기로 내부의 상황분석장치
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제1항에 있어서,상기 진동센서는 상기 전기로의 벽체에 복수 개 구비된 것을 특징으로 하는 전기로 내부의 상황분석장치
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제1항에 있어서,상기 진동분석부는 임펄스 신호의 크기, 및 상기 임펄스 신호가 발생한 시각 사이의 간극주기를 결정하는 것을 특징으로 하는 전기로 내부의 상황분석장치
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제1항 또는 제6항에 있어서,상기 진동분석부는,상기 진동센서가 측정한 진동신호 크기를 입력받는 진동신호 입력부;신경회로망을 이용하여 입력받은 진동신호 크기로부터 전기로 내부의 상황분석을 위한 출력값을 연산하는 연산부; 및출력값에 대응되는 전기로 내부의 상황의 데이터를 갖는 테이블로부터, 상기 연산된 출력값에 대응되는 전기로 내부의 상황을 추정하는 노황 추정부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기로 내부의 상황분석장치
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