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표준 시편을 준비하는 단계; 상기 표준 시편을 이차이온질량분석기에 장입하고 일차 이온 빔을 조정하는 단계;상기 일차 이온 빔을 안정화시키는 단계;상기 표준 시편으로부터의 표면효과를 제거하기 위해 예비 스퍼터링을 행하는 단계;상기 예비 스퍼터링 후 보론 클러스터 이온(11B16O2)과 철 클러스터 이온(56Fe16O)의 질량이 동조되고, 질량측정기의 중앙을 통과해 형광판에 정위치되도록 질량 정밀 보정을 행하는 단계;상기 일차 이온 빔을 표준 시편에 스퍼터링하여 표준 시편의 보론 분포 상태도를 얻는 단계; 및상기 보론 분포상태도를 이용해 이차이온 강도의 시간 함수 그래프를 도출하고, 상기 강도의 시간 함수 그래프를 통해, 보론 함량의 선형 그래프를 검량선으로 도출하여 보론 함량을 예측하는 단계를 포함하는 강중 보론 분포 및 함량을 측정하는 방법
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청구항 1에 있어서,추가적으로, 상기 검량선에 이상치가 발생한 경우에 질량분해능을 변경하여 이상치를 수정하는 단계를 포함하는 강중 보론 분포 및 함량을 측정하는 방법
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청구항 1에 있어서,상기 표준 시편을 준비하는 단계는 가로 8㎜이하, 세로 8㎜이하, 두께 58㎜이하로 준비하여, 경면연마를 실시하고, 부식액으로 조직을 현출시켜 측정조건을 설정한 후, 다시 경면 연마를 실시하는 강중 보론 분포 및 함량을 측정하는 방법
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청구항 1에 있어서,상기 일차 이온 빔을 조정하는 단계는 일차 이온으로 O2+ 이온을 사용하여, 가속전압 12
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청구항 1에 있어서,상기 일차 이온 빔을 안정화시키는 단계는 일차 이온 전류 변동을 20분간 최소 2%이하로 하는 강중 보론 분포 및 함량을 측정하는 방법
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청구항 1에 있어서,상기 예비 스퍼터링은 행하는 단계는 표면효과를 제거하고 클러스터 이차 이온 강도의 이상변동이 없는 평행상태에 도달되도록 최소 5분간 행하는 강중 보론 분포 및 함량을 측정하는 방법
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청구항 1에 있어서,상기 질량 정밀 보정은 최소 3회 이상 행하는 강중 보론 분포 및 함량을 측정하는 방법
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청구항 1에 있어서,상기 보론 분포 상태도를 얻는 단계는 이차이온질량분석기의 필드 조리개와 렌즈를 조정하여 관찰시야(배율)가 35㎛Φ~150㎛Φ가 되도록 조정하는 강중 보론 분포 및 함량을 측정하는 방법
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