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마그네슘 부재의 표면 처리 방법 및 이를 이용하여 처리된표면을 갖는 마그네슘 부재

기술번호 : KST2015106499
담당센터 : 대구기술혁신센터
전화번호 : 053-550-1450

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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	마그네슘 부재의 표면 처리 방법 및 이를 이용하여 처리된 표면을 갖는 마그네슘 부재에서, 자연 산화막이 형성된 마그네슘 부재를 준비한다. 이어서 자연 산화막을 약 10-9 Torr 내지 약 10-1Torr의 압력 조건하의 챔버 내에서 플라즈마를 사용하여 마그네슘 부재로부터 제거한다. 그 후 마그네슘 부재 상에 산화 마그네슘 막을 건식 증착한다. 이와 다르게 산화 마그네슘 막 대신에 불화 마그네슘 막을 건식 증착할 수 있다. 이와 또 다르게 산화 마그네슘 막을 건식 증착 한 후 불화 마그네슘 막을 추가로 건식 증착할 수 있다. 마그네슘 부재, 표면 처리, 건식, 부식성
Int. CL	C23C 14/34 (2006.01) C23C 14/46 (2006.01) C23C 14/00 (2006.01)
CPC	C23C 14/02(2013.01) C23C 14/02(2013.01) C23C 14/02(2013.01) C23C 14/02(2013.01) C23C 14/02(2013.01)
출원번호/일자	1020080030065 (2008.03.31)
출원인	재단법인 포항산업과학연구원, 주식회사 포스코
등록번호/일자
공개번호/일자	10-2009-0104596 (2009.10.06) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태	거절
심사진행상태	수리
심판사항
구분	신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자	Y (2008.03.31)
심사청구항수	4

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호	이름	국적	주소
1	재단법인 포항산업과학연구원	대한민국	경북 포항시 남구
2	주식회사 포스코	대한민국	경상북도 포항시 남구

발명자

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번호	이름	국적	주소
1	박영희	대한민국	경상북도 포항시 남구

대리인

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번호	이름	국적	주소
1	유미특허법인	대한민국	서울특별시 강남구 테헤란로 *, 서림빌딩 층 (역삼동)

최종권리자

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번호	이름	국적	주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application	2008.03.31	수리 (Accepted)	1-1-2008-0234933-28
2	선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search	2009.03.10	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
3	선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search	2009.04.14	수리 (Accepted)	9-1-2009-0023178-68
4	의견제출통지서 Notification of reason for refusal	2010.02.23	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2010-0075353-11
5	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)	2010.04.23	수리 (Accepted)	1-1-2010-0264407-20
6	[명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment	2010.04.23	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2010-0264409-11
7	의견제출통지서 Notification of reason for refusal	2010.08.23	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2010-0367060-65
8	[명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment	2010.10.20	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2010-0678813-08
9	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)	2010.10.20	수리 (Accepted)	1-1-2010-0678811-17
10	거절결정서 Decision to Refuse a Patent	2011.01.27	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2011-0051875-15
11	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2013.05.14	수리 (Accepted)	4-1-2013-0019112-38
12	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2016.09.28	수리 (Accepted)	4-1-2016-5138263-79
13	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2018.04.30	수리 (Accepted)	4-1-2018-5077322-80
14	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2019.09.25	수리 (Accepted)	4-1-2019-5200802-82
15	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2019.09.30	수리 (Accepted)	4-1-2019-5204006-48
16	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2019.10.10	수리 (Accepted)	4-1-2019-5211042-46

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 자연 산화막이 형성된 마그네슘 부재를 준비하는 단계; 상기 자연 산화막을 10-9 Torr 내지 10-1Torr의 압력 조건하의 챔버 내에서 플라즈마를 사용하여 상기 마그네슘 부재로부터 제거하는 단계; 및 상기 마그네슘 부재 상에 산화 마그네슘 막을 건식 증착하는 단계를 포함하는 마그네슘 부재의 표면 처리 방법
2	2 제 1 항에 있어서, 상기 자연 산화막은 MgO 및 MgOH2 중 하나 이상을 포함하고, 상기 플라즈마는 아르곤 플라즈마인 마그네슘 부재의 표면 처리 방법
3	3 제 1 항에 있어서, 상기 건식 증착하는 단계는 전자빔 진공 증착 공정 또는 스퍼터링 증착 공정을 수행하는 마그네슘 부재의 표면 처리 방법
4	4 제 1 항에 있어서, 상기 산화 마그네슘 막 상에 금속을 증착하는 단계를 더 포함하는 마그네슘 부재의 표면 처리 방법
5	5 제 4 항에 있어서, 상기 금속은 주석인 마그네슘 부재의 표면 처리 방법
6	6 자연 산화막이 형성된 마그네슘 부재를 준비하는 단계; 상기 자연 산화막을 10-9 Torr 내지 10-1Torr의 압력 조건하의 챔버 내에서 플라즈마를 사용하여 상기 마그네슘 부재로부터 제거하는 단계; 및 상기 마그네슘 부재 상에 불화 마그네슘 막을 건식 증착하는 단계를 포함하는 마그네슘 부재의 표면 처리 방법
7	7 제 6 항에 있어서, 상기 자연 산화막은 MgO 및 MgOH2 중 하나 이상을 포함하고, 상기 플라즈마는 아르곤 플라즈마인 마그네슘 부재의 표면 처리 방법
8	8 제 6 항에 있어서, 상기 건식 증착하는 단계는 전자빔 진공 증착 공정 또는 스퍼터링 증착 공정을 수행하는 마그네슘 부재의 표면 처리 방법
9	9 제 6 항에 있어서, 상기 불화 마그네슘 막 상에 금속을 증착하는 단계를 더 포함하는 마그네슘 부재의 표면 처리 방법
10	10 제 9 항에 있어서, 상기 금속은 주석인 마그네슘 부재의 표면 처리 방법
11	11 자연 산화막이 형성된 마그네슘 부재를 준비하는 단계; 상기 자연 산화막을 10-9 Torr 내지 10-1Torr의 압력 조건하의 챔버 내에서 플라즈마를 사용하여 상기 마그네슘 부재로부터 제거하는 단계; 상기 마그네슘 부재 상에 산화 마그네슘 막을 건식 증착하는 단계; 및 상기 산화 마그네슘 막 상에 불화 마그네슘 막을 건식 증착하는 단계를 포함하는 마그네슘 부재의 표면 처리 방법
12	12 제 11 항에 있어서, 상기 자연 산화막은 MgO 및 MgOH2 중 하나 이상을 포함하고, 상기 플라즈마는 아르곤 플라즈마인 마그네슘 부재의 표면 처리 방법
13	13 제 11 항에 있어서, 상기 산화 마그네슘 막 및 상기 불화 마그네슘 막은 전자빔 진공 증착 공정 또는 스퍼터링 증착 공정에 의해서 건식 증착되는 마그네슘 부재의 표면 처리 방법
14	14 제 11 항에 있어서, 상기 불화 마그네슘 막 상에 금속을 증착하는 단계를 더 포함하는 마그네슘 부재의 표면 처리 방법
15	15 제 14 항에 있어서, 상기 금속은 주석인 마그네슘 부재의 표면 처리 방법
16	16 마그네슘 부재; 및 상기 마그네슘 부재 상에 직접적으로 건식 증착되어 주상 결정 구조를 갖는 산화 마그네슘 막을 포함하는 표면 처리된 마그네슘 부재
17	17 제 16 항에 있어서, 상기 산화 마그네슘 막 상에 형성된 금속막을 더 포함하는 표면 처리된 마그네슘 부재
18	18 제 17 항에 있어서, 상기 금속막은 주석을 포함하는 표면 처리된 마그네슘 부재
19	19 마그네슘 부재; 및 상기 마그네슘 부재 상에 직접적으로 건식 증착되어 비정질 상태와 투명성을 갖는 불화 마그네슘 막을 포함하는 표면 처리된 마그네슘 부재
20	20 제 19 항에 있어서, 상기 산화 마그네슘 막 상에 형성된 금속막을 더 포함하는 표면 처리된 마그네슘 부재
21	21 제 20 항에 있어서, 상기 금속막은 주석을 포함하는 표면 처리된 마그네슘 부재
22	22 마그네슘 부재; 상기 마그네슘 부재 상에 직접적으로 건식 증착되어 주상 결정 구조를 갖는 산화 마그네슘 막; 및 상기 산화 마그네슘 막에 건식 증착되어 비정질 상태와 투명성을 갖는 불화 마그네슘 막을 포함하는 표면 처리된 마그네슘 부재
23	23 제 22 항에 있어서, 상기 산화 마그네슘 막 상에 형성된 금속막을 더 포함하는 표면 처리된 마그네슘 부재
24	24 제 23 항에 있어서, 상기 금속막은 주석을 포함하는 표면 처리된 마그네슘 부재

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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송번호의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 통합행정정보 > 등록료란 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서	2008.03.31	수리 (Accepted)	1-1-2008-0234933-28
2	선행기술조사의뢰서	2009.03.10	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
3	선행기술조사보고서	2009.04.14	수리 (Accepted)	9-1-2009-0023178-68
4	의견제출통지서	2010.02.23	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2010-0075353-11
5	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서	2010.04.23	수리 (Accepted)	1-1-2010-0264407-20
6	[명세서등 보정]보정서	2010.04.23	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2010-0264409-11
7	의견제출통지서	2010.08.23	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2010-0367060-65
8	[명세서등 보정]보정서	2010.10.20	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2010-0678813-08
9	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서	2010.10.20	수리 (Accepted)	1-1-2010-0678811-17
10	거절결정서	2011.01.27	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2011-0051875-15
11	출원인정보변경(경정)신고서	2013.05.14	수리 (Accepted)	4-1-2013-0019112-38
12	출원인정보변경(경정)신고서	2016.09.28	수리 (Accepted)	4-1-2016-5138263-79
13	출원인정보변경(경정)신고서	2018.04.30	수리 (Accepted)	4-1-2018-5077322-80
14	출원인정보변경(경정)신고서	2019.09.25	수리 (Accepted)	4-1-2019-5200802-82
15	출원인정보변경(경정)신고서	2019.09.30	수리 (Accepted)	4-1-2019-5204006-48
16	출원인정보변경(경정)신고서	2019.10.10	수리 (Accepted)	4-1-2019-5211042-46

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