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경질 코팅층 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015106503
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 기판상에 경질 코팅층의 형성방법이 개시된다. 본 발명에 의한 경질 코팅층의 형성방법은 진공챔버 내에 비활성 가스와 반응성 가스가 혼합된 가스분위기에서, 아크 소스를 이용하여 TiAl 합금을 증발시켜 기판상에 경질 코팅층을 형성하는 방법에 있어서, 기판상에 금속성분으로 이루어진 접착층을 형성하고, 상기 진공챔버 내에 질소가스를 주입하여 TiAlN 코팅층을 형성하되, 주입되는 질소의 유량을 2단계로 조절하여 제1층이 제2층보다 높은 유량에서 형성되는 것을 특징으로 한다.
Int. CL C23C 14/34 (2006.01) C23C 16/44 (2006.01)
CPC C23C 14/0641(2013.01) C23C 14/0641(2013.01) C23C 14/0641(2013.01) C23C 14/0641(2013.01) C23C 14/0641(2013.01)
출원번호/일자 1020120114271 (2012.10.15)
출원인 재단법인 포항산업과학연구원
등록번호/일자 10-1429645-0000 (2014.08.06)
공개번호/일자 10-2014-0048466 (2014.04.24) 문서열기
공고번호/일자 (20140813) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.10.15)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 포항산업과학연구원 대한민국 경북 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정재인 대한민국 경북 포항시 남구
2 양지훈 대한민국 경북 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 유미특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 서림빌딩 **층 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 포항산업과학연구원 경북 포항시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.10.15 수리 (Accepted) 1-1-2012-0835722-15
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.04.25 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.05.14 수리 (Accepted) 4-1-2013-0019112-38
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.06.10 수리 (Accepted) 9-1-2013-0047888-45
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.01.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0009099-86
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.03.04 수리 (Accepted) 1-1-2014-0212832-18
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.03.04 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0212834-09
8 등록결정서
Decision to grant
2014.06.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0419037-16
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.09.28 수리 (Accepted) 4-1-2016-5138263-79
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5211042-46
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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진공챔버 내에 비활성 가스와 반응성 가스가 혼합된 가스분위기에서, 아크 소스를 이용하여 TiAl 합금을 증발시켜 기판상에 경질 코팅층을 형성하는 방법에 있어서,기판상에 TiAl 금속성분으로 이루어진 접착층을 형성하고, 상기 진공챔버 내에 질소가스를 주입하여 TiAlN 코팅층을 형성하되, 주입되는 질소의 유량을 2단계로 조절하여 제1층이 제2층보다 높은 유량에서 형성되는 것을 특징으로 하는 기판상에 경질 코팅층을 형성하는 방법
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제 1 항에 있어서,상기 TiAl 합금 타겟의 성분은 Ti-50at%Al 이고, 형성된 TiAlN코팅층에 존재하는 Al의 비율은 15-25at% 인 것을 특징으로 하는 기판상에 경질 코팅층을 형성하는 방법
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제 1 항에 있어서,상기 제1층의 형성시 주입되는 질소의 유량은 제2층의 형성시에 비하여 1
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제 1 항에 있어서,상기 제1층의 X-선 회절피크는 (200)면의 우선 배향을 가지며, 상기 제2층의 X-선 회절피크는 (111)면의 우선 배향을 가지는 것을 특징으로 하는 기판상에 경질 코팅층을 형성하는 방법
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삭제
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제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항의 방법에 의해 형성되는 경질 코팅층
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.