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ＲＦ 플라즈마를 이용한 몰리브덴 금속타겟 제조방법

  • 기술번호 : KST2015106576
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 몰리브덴 금속타겟 제조방법에 관한 것으로, 분말 공급기에 몰리브덴 금속 분말을 장입하는 단계; 반응챔버 내부를 불활성 또는 수소환원 분위기로 치환하는 단계; 상기 반응챔버 내부에서 RF 플라즈마를 발생시키는 단계; 상기 반응챔버 내부에 위치한 기판을 회전 및 이동시키는 단계; 상기 RF 플라즈마 내부로 상기 몰리브덴 금속 분말을 투입하는 단계; 상기 RF 플라즈마를 통해 상기 몰리브덴 금속 분말을 용융 및 기화시키는 단계; 및 상기 용융 및 기화된 상기 몰리브덴 금속을 기판에 충돌시켜 코팅층을 형성시키는 단계; 를 포함하는 RF 플라즈마를 이용한 몰리브덴 금속타겟 제조방법을 제공하여, RF 플라즈마를 이용하여 몰리브덴을 고온의 플라즈마로 기상증발-응축코팅시킴으로써 몰리브덴 금속타겟을 제조함으로써, 제조공정을 간소화할 수 있는 효과가 있다.
Int. CL C23C 14/34 (2006.01)
CPC C23C 14/3407(2013.01) C23C 14/3407(2013.01) C23C 14/3407(2013.01)
출원번호/일자 1020110143898 (2011.12.27)
출원인 재단법인 포항산업과학연구원
등록번호/일자 10-1309648-0000 (2013.09.11)
공개번호/일자 10-2013-0075508 (2013.07.05) 문서열기
공고번호/일자 (20130917) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.12.27)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 포항산업과학연구원 대한민국 경북 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박종일 대한민국 경상북도 포항시 남구
2 조현철 대한민국 경상북도 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 유미특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 서림빌딩 **층 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 포항산업과학연구원 경북 포항시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.12.27 수리 (Accepted) 1-1-2011-1041166-61
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2013.01.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.02.05 수리 (Accepted) 9-1-2013-0005575-97
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.05.14 수리 (Accepted) 4-1-2013-0019112-38
5 등록결정서
Decision to grant		 2013.08.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0555953-35
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.09.28 수리 (Accepted) 4-1-2016-5138263-79
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5211042-46
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
분말 공급기에 몰리브덴 금속 분말을 장입하는 단계; 반응챔버 내부를 불활성 또는 수소환원 분위기로 치환하는 단계; 상기 반응챔버 내부에서 RF 플라즈마를 발생시키는 단계; 상기 반응챔버 내부에 위치한 기판을 회전 및 이동시키는 단계;상기 RF 플라즈마 내부로 상기 몰리브덴 금속 분말을 투입하는 단계; 상기 RF 플라즈마를 통해 상기 몰리브덴 금속 분말을 용융 및 기화시키는 단계; 및 상기 용융 및 기화된 상기 몰리브덴 금속을 기판에 충돌시켜 코팅층을 형성시키는 단계;를 포함하는 RF 플라즈마를 이용한 몰리브덴 금속타겟 제조방법
2 2
제1항에 있어서,상기 RF 플라즈마는 15 ~ 220㎾의 전력으로 발생되는 것을 특징으로 하는 RF 플라즈마를 이용한 몰리브덴 금속타겟 제조방법
3 3
제1항에 있어서,상기 반응챔버 내부의 불활성 분위기로의 치환은 아르곤 가스에 의해 수행되고, 상기 반응챔버 내부의 수소환원 분위기로의 치환은 아르곤 가스 및 수소 기체에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 몰리브덴 금속타겟 제조방법
4 4
제1항에 있어서,상기 RF 플라즈마의 온도는 5,000~10,000K인 것을 특징으로 하는 몰리브덴 금속타겟 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.