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공정용액 순환장치

  • 기술번호 : KST2015106666
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 공정장치로 공급되는 공정용액 중에 혼입되는 불순물 입자를 효율적으로 제거할 수 있으므로 최종제품의 제품성이 향상되며, 공정장치를 순환하는 용액중의 불순물 입자가 배관계 등에 축적되는 것이 방지되어 성능이 향상되는 공정용액 순환시스템을 제공한다. 그 공정용액 순환시스템은 공정용액 순환조, 공정용액 공급펌프, 공급펌프를 지난 공정용액을 송출하기 위한 공급배관, 공정장치에서 사용된 후의 공정용액을 회수하기 위한 회수배관, 순환조의 공정용액을 배출시키기 위한 필터용 공급펌프, 및 배출된 공정용액을 여과시킨 후 다시 순환조로 복귀시키기 위한 필터장치를 기본적으로 구비하며, 공급펌프 이후의 공급배관에는 공정용액에 포함된 불순물을 분리시켜 다시 공정용액 순환조로 복귀시키고 불순물 입자가 제거된 청정용액만을 상기 공급배관을 통해 공정장치로 공급하기 위한 사이클론을 더 포함하여 구성된다. 사이클론 후방에는 공정용액을 다시 한번 회수하는 중간조 및 그 중간조 내의 공정용액을 공급배관을 통해 공정장치로 공급하기 위한 송출펌프가 더 설치될 수 있다. 공정용액, 순환시스템, 사이클론, 순환조, 공급펌프.
Int. CL C23G 3/00 (2006.01)
CPC C23G 3/02(2013.01) C23G 3/02(2013.01) C23G 3/02(2013.01)
출원번호/일자 1020000080681 (2000.12.22)
출원인 주식회사 포스코, 재단법인 포항산업과학연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2002-0051145 (2002.06.28) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2002.11.30)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 포스코 대한민국 경상북도 포항시 남구
2 재단법인 포항산업과학연구원 대한민국 경북 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김태수 대한민국 경상북도포항시남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이홍길 대한민국 서울특별시 강남구 논현로 ***, *층 (역삼동, 용마빌딩)(신진국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2000.12.22 수리 (Accepted) 1-1-2000-0276993-33
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.03.21 수리 (Accepted) 4-1-2002-0027128-10
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2002-0043593-03
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2002-0043602-26
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.13 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065864-86
6 출원심사청구서
Request for Examination		 2002.11.30 수리 (Accepted) 1-1-2002-0398615-08
7 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2004.06.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.06.15 수리 (Accepted) 4-1-2004-0025494-38
9 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2004.07.13 수리 (Accepted) 9-1-2004-0038342-17
10 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2004.07.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0304274-11
11 의견서
Written Opinion		 2004.09.30 수리 (Accepted) 1-1-2004-0443671-69
12 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 2004.09.30 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2004-0443670-13
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2005.03.04 수리 (Accepted) 4-1-2005-5020373-24
14 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2005.03.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0128662-84
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.05.14 수리 (Accepted) 4-1-2013-0019112-38
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.09.28 수리 (Accepted) 4-1-2016-5138263-79
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.04.30 수리 (Accepted) 4-1-2018-5077322-80
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5200802-82
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.09.30 수리 (Accepted) 4-1-2019-5204006-48
20 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5211042-46
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

공정용액이 저장된 순환조, 상기 순환조의 공정용액을 공급하기 위한 공급펌프, 상기 공급펌프를 지난 공정용액을 송출하기 위한 공급배관, 상기 공급배관을 통해 공급되어 공정장치에서 사용된 후의 공정용액을 회수하기 위한 회수배관, 상기 순환조의 공정용액을 배출시키기 위한 필터용 공급펌프, 및 상기 필터용 공급펌프로부터 배출된 공정용액을 여과시킨 후 다시 순환조로 복귀시키기 위한 필터장치를 구비하는 공정용액 순환시스템에 있어서,

상기 공급펌프 이후의 공급배관에는 공정용액에 포함된 불순물을 분리시켜 다시 공정용액 순환조로 복귀키고 불순물 입자가 제거된 청정용액만을 상기 공급배관을 통해 공정장치로 공급하기 위한 사이클론을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 공정용액 순환시스템

2 2

제 1항에 있어서, 상기 공정용액 공급펌프로부터 상기 사이클론으로 공급되어 불순물이 분리된 공정용액을 다시 회수하기 위한 중간조를 더 포함하며, 상기 중간조의 후방에는 그 중간조 내의 공정용액을 상기 공급배관을 통해 상기 공정장치로 공급하기 위한 송출펌프가 더 설치되는 것을 특징으로 하는 공정용액 순환시스템

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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