| 1 |
1
레이저에 의하여 초음파가 발생되는 측정 대상물 표면에 광선이 조사되어 다시 반사되는 광선으로부터 측정 대상물을 비접촉식으로 측정하는 장치에 있어서, 상기 측정 대상물에서 반사된 광선을 간섭시키는 패브리-페로 간섭계; 상기 간섭된 광선 중 패브리-페로 간섭계를 투과하는 광선으로부터 초음파 신호를 검지하는 1 이상의 투과형 광검지기; 상기 간섭된 광선 중 패브리-페로 간섭계에서 반사되는 광선 중 적어도 어느 하나의 광선으로부터 초음파 신호를 검지하는 반사형 광검지기; 상기 투과형 광검지기와 반사형 광검지기로부터 검지된 초음파 신호를 처리하여 측정 대상물의 결정 입경 등을 계산하는 신호처리장치 를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 반사형 광검지기를 이용한 초음파 측정장치
|
| 2 |
2
제1항에 있어서, 상기 반사형 광검지기에 입사되는 광선은 투과형 광검지기에 입사되는 광선과 그 위상이 일치되도록 구성됨을 특징으로 하는 반사형 광검지기를 이용한 초음파 측정장치
|
| 3 |
3
제2항에 있어서, 상기 측정 대상물에서 반사되는 광선 모두는 반파장판을 거쳐 패브리-페로 간섭계에 입사되고, 입사된 광선 중 일부는 패브리-페로 간섭계를 투과하여 투과형 광검지기에 입사되며 다른 일부는 패브리-페로 간섭계에서 반사된 후 다시 상기 반파장판을 거쳐 반사형 광검지기에 입사되도록 구성됨을 특징으로 하는 반사형 광검지기를 이용한 초음파 측정장치
|
| 4 |
3
제2항에 있어서, 상기 측정 대상물에서 반사되는 광선 모두는 반파장판을 거쳐 패브리-페로 간섭계에 입사되고, 입사된 광선 중 일부는 패브리-페로 간섭계를 투과하여 투과형 광검지기에 입사되며 다른 일부는 패브리-페로 간섭계에서 반사된 후 다시 상기 반파장판을 거쳐 반사형 광검지기에 입사되도록 구성됨을 특징으로 하는 반사형 광검지기를 이용한 초음파 측정장치
|
