| 요약 |
본 발명은 측온저항체를 이용한 수소 누설 검지센서 및 그 제조방법에 관한 것으로, 수소가스를 검출하는 접촉 연소식 수소 누설 검지센서에 있어서; SOI 기판과; 상기 SOI 기판의 상,하 양면에 형성된 실리콘 산화막과; 상기 SOI 기판의 상면에 형성된 실리콘 산화막의 상부에 Ti로 형성된 제1접착층과; 상기 제1접착층 상면에 형성된 코일 형상의 백금 히터와; 상기 백금 히터를 완전히 덮도록 백금 히터상에 형성된 제1알루미나 절연막과; 상기 제1알루미나 절연막의 상면에 Ti로 형성된 제2접착층과; 상기 제2접착층의 상면에 백금으로 형성된 측온저항체와; 상기 측온저항체의 상면에 형성된 제2알루미나 절연막과; 상기 제2알루미나 절연막의 상면에 Ti로 형성된 제3접착층과; 상기 제3접착층 상면에 형성된 백금촉매층과; 상기 SOI 기판의 하면에 형성된 실리콘 산화막과 SOI 기판이 건식 에칭되어 형성된 백에칭부를 포함하여 구성된 측온저항체를 이용한 수소 누설 검지센서 및 그 제조방법을 제공한다. 이에 따라, 본 발명은 측온저항체를 히터와 같이 사용함으로써 히터의 열화로 인한 손상 및 저항의 큰 경시변화 등에 의한 영향없이 수소의 농도를 안정적으로 측정할 수 있고, 또 MEMS(Micro Electro Mechanical Systems) 기술이 적용되므로 낮은 가격으로 대량생산이 가능하며, 저전력 구동 및 소형화가 가능하다. 수소센서, 백금, MEMS, SOI, 접촉 연소식, 촉매, 측온저항체
|
