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경질코팅층 및 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015106885
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 하나의 진공용기내에 음극 아크 소스로는 TiAl 타켓을 사용하고, 스퍼터링 소스에는 Si 타켓을 함께 사용하며, 기판을 회전시키면서 코팅을 하여 상기 기판 상에 SiN층과 TiAlN층이 순차적으로 코팅되어 다층구조의 TiAlSiN 다원계 질화물을 형성하는 복합형 경질코팅층의 제조방법을 제공한다.
Int. CL C23C 14/34 (2006.01) C23C 14/06 (2006.01)
CPC C23C 14/3464(2013.01) C23C 14/3464(2013.01) C23C 14/3464(2013.01) C23C 14/3464(2013.01)
출원번호/일자 1020130061758 (2013.05.30)
출원인 재단법인 포항산업과학연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2014-0141767 (2014.12.11) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.11.10)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 포항산업과학연구원 대한민국 경북 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정재인 대한민국 경북 포항시 남구
2 양지훈 대한민국 경북 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 유미특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 서림빌딩 **층 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.05.30 수리 (Accepted) 1-1-2013-0482357-07
2 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2014.11.10 수리 (Accepted) 1-1-2014-1081192-89
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2015.08.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2015.10.08 수리 (Accepted) 9-1-2015-0062781-35
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.03.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0165839-50
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.04.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0411382-00
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.04.28 수리 (Accepted) 1-1-2016-0411368-60
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2016.07.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0506943-55
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.08.12 수리 (Accepted) 1-1-2016-0784374-82
10 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2016.08.12 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2016-0784373-36
11 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2016.09.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0640159-86
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.09.28 수리 (Accepted) 4-1-2016-5138263-79
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5211042-46
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
하나의 진공용기내에 음극 아크 소스로는 TiAl 타켓을 사용하고, 스퍼터링 소스에는 Si 타켓을 함께 사용하며, 기판을 회전시키면서 코팅을 하여 상기 기판 상에 SiN층과 TiAlN층이 순차적으로 코팅되어 다층구조의 TiAlSiN 다원계 질화물을 형성하는 복합형 경질코팅층의 제조방법
2 2
제1 항에 있어서,스퍼터링 소스는 대칭(balanced)과 비대칭(unbalanced) 마그네트론 스퍼터링 소스 중 어느 하나인 복합형 경질코팅층의 제조방법
3 3
제1 항 또는 제2 항에 있어서,상기 기판은 실리콘 웨이퍼(Si wafer)나 스테인리스 강판(stainless steel) 초경합금(Tungsten Carbide) 중 어느 하나인 복합형 경질코팅층의 제조방법
4 4
제 3 항에 있어서,상기 기판의 회전 속도는 0
5 5
제 4 항에 있어서,상기 다층구조에서 각 층의 두께는 1 ~ 5 nm 인 복합형 경질코팅층의 제조방법
6 6
제 5 항에 있어서,상기 TiAlSiN 다원계 질화물의 코팅층에서 결정립의 직경이 1 ~ 10nm인 복합형 경질코팅층의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.