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RF 플라즈마를 이용한 몰리브덴 금속 나노분말 제조방법

  • 기술번호 : KST2015107265
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 반응챔버 내부에 삼산화몰리브덴 분말을 장입하는 단계; 상기 반응챔버 내부에 수소가스를 공급하여 상기 반응챔버 내부를 수소분위기로 치환하는 단계; 상기 반응챔버 내부에 RF 플라즈마를 발생시키는 단계; 상기 RF 플라즈마를 통해 상기 삼산화몰리브덴을 수소환원처리하여 몰리브덴 금속 분말을 생성하는 단계; 상기 RF 플라즈마를 통해 상기 몰리브덴 금속 분말을 기화시키는 단계; 및 기화된 상기 몰리브덴 금속 분말을 응축 또는 급랭시켜 몰리브덴 금속 나노분말로 만드는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 RF 플라즈마를 이용한 금속 나노분말 제조방법을 제공한다.본 발명에 의하면, RF 플라즈마를 수소환원분위기로 가동하여 금속산화물인 삼산화몰리브덴을 수소 환원함과 동시에 고온의 플라즈마를 이용하여 기상증발 응축시켜 몰리브덴 금속 나노분말로 제조함으로써, 종래보다 제조공정을 간소화시킬 수 있으며, 이를 통해, 몰리브덴 금속 나노분말의 생산성을 향상시킬 수 있고 제조비용을 줄일 수 있다.
Int. CL B82Y 40/00 (2011.01) C22B 34/34 (2006.01) B22F 9/14 (2006.01)
CPC B22F 9/14(2013.01) B22F 9/14(2013.01) B22F 9/14(2013.01) B22F 9/14(2013.01) B22F 9/14(2013.01) B22F 9/14(2013.01)
출원번호/일자 1020100131226 (2010.12.21)
출원인 재단법인 포항산업과학연구원
등록번호/일자 10-1310949-0000 (2013.09.09)
공개번호/일자 10-2012-0089905 (2012.08.16) 문서열기
공고번호/일자 (20130923) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.12.21)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 포항산업과학연구원 대한민국 경북 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박종일 대한민국 경상북도 포항시 남구
2 손영근 대한민국 경상북도 포항시 남구
3 변갑식 대한민국 경상북도 포항시 남구
4 박언병 대한민국 경상북도 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 홍성철 대한민국 서울특별시 금천구 가산디지털*로 ***, 에이스하이-엔드타워*제*층 ***호 홍익국제특허법률사무소 (가산동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 포항산업과학연구원 경북 포항시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.12.21 수리 (Accepted) 1-1-2010-0842569-10
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.06.21 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.08.01 수리 (Accepted) 9-1-2012-0061004-17
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.08.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0462220-05
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.10.08 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0815684-09
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.10.08 수리 (Accepted) 1-1-2012-0815685-44
7 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2013.02.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0119534-14
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.04.22 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2013-0351254-64
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.04.22 수리 (Accepted) 1-1-2013-0351252-73
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.05.14 수리 (Accepted) 4-1-2013-0019112-38
11 등록결정서
Decision to grant
2013.08.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0583128-96
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.09.28 수리 (Accepted) 4-1-2016-5138263-79
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5211042-46
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
반응챔버 내부에 삼산화몰리브덴 분말을 장입하는 단계;상기 반응챔버 내부에 수소가스를 공급하여 상기 반응챔버 내부를 수소분위기로 치환하고 상기 반응챔버 내부에 RF 플라즈마를 발생시켜 상기 삼산화몰리브덴을 환원 및 기화시켜 몰리브덴 금속 분말을 생성하는 단계;기화된 상기 몰리브덴 금속 분말을 응축 또는 급랭시켜 몰리브덴 금속 나노분말로 만드는 단계;상기 몰리브덴 금속 나노분말을 사이클론을 통과시켜 온도를 하강시키는 단계;상기 몰리브덴 금속 나노분말을 분말 수거부 내에 구비된 필터의 외벽에 흡착시키는 단계; 및상기 필터 내부에서 백 플러싱하여 흡착된 상기 몰리브덴 금속 나노분말을 탈착시키고 탈착된 상기 몰리브덴 금속 나노분말을 회수하는 단계를 포함하는, RF 플라즈마를 이용한 금속 나노분말 제조방법
2 2
제1항에 있어서,상기 RF 플라즈마는 15 내지 150㎾의 전력으로 발생되는 것을 특징으로 하는 RF 플라즈마를 이용한 금속 나노분말 제조방법
3 3
제1항에 있어서,상기 몰리브덴 금속 분말에 대한 응축 또는 급랭은 상기 반응챔버 내부로 분사되는 가스에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는 RF 플라즈마를 이용한 금속 나노분말 제조방법
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패밀리정보가 없습니다
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