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진공 챔버 및 상기 진공 챔버의 내부에 설치된 전극부를 구비하며 상기 진공 챔버로 투입된 가스를 방전시켜 플라즈마를 생성하는 플라즈마 생성부;상기 진공 챔버의 내부에 설치된 탐침 및 상기 탐침과 전기적으로 연결된 분석 장치를 구비하여 플라즈마의 상태를 진단하는 플라즈마 진단부; 및상기 플라즈마 진단부와 연결되어 플라즈마 진단 결과를 전송받고, 미리 설정된 플라즈마 설정값과 상기 플라즈마 진단 결과를 비교하여 상기 플라즈마 생성부의 공정 변수를 제어하는 플라즈마 제어부를 포함하는 플라즈마 발생 장치
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제1항에 있어서,상기 전극부는 전원 인가부와 연결되어 전압을 인가받고,상기 플라즈마 생성부는 상기 진공 챔버에 설치되어 투입 가스의 유량을 조절하는 유량 조절부 및 상기 진공 챔버의 압력을 조절하는 압력 조절부를 더 포함하는 플라즈마 발생 장치
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제2항에 있어서,상기 전원 인가부, 상기 유량 조절부, 및 상기 압력 조절부는 상기 플라즈마 제어부와 전기적으로 연결되며,상기 공정 변수는 상기 전극부에 인가되는 전압의 크기, 상기 투입 가스의 유량, 및 상기 진공 챔버의 압력 중 적어도 하나인 플라즈마 발생 장치
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제1항에 있어서,상기 플라즈마 진단부는 상기 탐침으로서 싱글 랭뮤어 탐침과 더블 랭뮤어 탐침 중 어느 하나를 구비하고,상기 진단 장치는 상기 탐침과 전기적으로 연결된 전류 측정부를 포함하는 플라즈마 발생 장치
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제1항에 있어서,상기 플라즈마 진단부는 광학 방출 분석기로 구성되는 플라즈마 발생 장치
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진공 챔버 내부에 가스를 투입하고 전극부에 전압을 인가하여 플라즈마를 생성하는 단계;탐침과 분석 장치로 구성된 플라즈마 진단부를 이용하여 상기 플라즈마의 상태를 분석하고 플라즈마 진단 결과를 플라즈마 제어부로 전송하는 단계;상기 플라즈마 제어부에서 미리 설정된 플라즈마 설정값과 상기 플라즈마 진단 결과를 비교하여 일치 여부를 판단하는 단계;상기 플라즈마 설정값과 상기 플라즈마 진단 결과가 일치하지 않으면 플라즈마의 공정 변수를 조절하고 플라즈마 진단을 재실시하는 단계; 및상기 플라즈마 설정값과 상기 플라즈마 진단 결과가 일치하면 플라즈마의 공정 변수를 유지하고 소재의 표면처리, 코팅, 및 분석 중 어느 하나를 실시하는 단계를 포함하는 플라즈마 제어 방법
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제6항에 있어서,상기 공정 변수 조절은 상기 전극부에 인가되는 전압 조절, 상기 진공 챔버에 투입되는 가스의 유량 조절, 및 상기 진공 챔버의 압력 조절 중 적어도 하나로 이루어지는 플라즈마 제어 방법
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