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질화 코팅층의 형성방법

  • 기술번호 : KST2015107718
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 질화 코팅층의 형성방법이 개시된다. 본 발명에 의한 질화 코팅층은 진공 증착 장비의 챔버내에 강판을 장착하는 단계, 상기 챔버내에 질소가스를 주입한 후 TiAl 타겟을 음극 아크소스를 이용하여 증발시켜 상기 강판의 표면에 TiAlN 코팅층을 형성하는 단계, 및 상기 챔버내에 Mg 타겟을 스퍼터링 소스를 이용하여 증발시켜 상기 강판의 표면에 마그네슘을 포함하는 질화 코팅층의 형성방법에 의해 구현된다.
Int. CL C23C 14/34 (2006.01) C23C 14/06 (2006.01)
CPC C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01)
출원번호/일자 1020120103522 (2012.09.18)
출원인 재단법인 포항산업과학연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2014-0037450 (2014.03.27) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.09.18)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 포항산업과학연구원 대한민국 경북 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 양지훈 대한민국 경북 포항시 남구
2 정재인 대한민국 경북 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 유미특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 서림빌딩 **층 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.09.18 수리 (Accepted) 1-1-2012-0756347-10
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.04.25 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.05.14 수리 (Accepted) 4-1-2013-0019112-38
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.06.10 수리 (Accepted) 9-1-2013-0046880-13
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.01.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0009528-72
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.03.06 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0219801-11
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.03.06 수리 (Accepted) 1-1-2014-0219803-02
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2014.06.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0419030-08
9 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2014.07.21 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2014-0682870-88
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.07.21 수리 (Accepted) 1-1-2014-0682869-31
11 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2014.08.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0564133-69
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.09.28 수리 (Accepted) 4-1-2016-5138263-79
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5211042-46
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
진공 증착 장비의 챔버내에 기판을 장착하는 단계;상기 챔버내에 질소가스를 주입한 후 TiAl 타겟을 음극 아크소스를 이용하여 증발시켜 상기 기판의 표면에 TiAlN 코팅층을 형성하는 단계; 및상기 챔버내에 Mg 타겟을 스퍼터링 소스를 이용하여 증발시켜 상기 기판의 표면에 마그네슘을 포함하는 질화 코팅층의 형성방법
2 2
제 1 항에서,상기 질화 코팅층의 Ti와 Al의 함량은 10:90~90:10 원자 퍼센트(at%)인 것을 특징으로 하는 질화 코팅층의 형성방법
3 3
제 1 항에 있어서,상기 질화 코팅층의 TiAl과 Mg의 함량은 10:90~90:10 원자 퍼센트(at%)인 것을 특징으로 하는 질화 코팅층의 형성방법
4 4
제 1 항에 있어서,상기 질화 코팅층의 총 두께는 1~10㎛ 인 것을 특징으로 하는 질화 코팅층의 형성방법
5 5
제 1 항에 있어서,상기 기판의 표면청정을 실시하는 단계를 더 포함하는 질화 코팅층의 형성방법
6 6
제 5 항에 있어서,상기 기판의 표면청정은 일정량의 아르곤 가스를 상기 진공챔버내에 주입한 후 상기 음극 아크소스에 전류를 인가하여 아크를 발생시키고, 상기 기판이 장착되는 기판 홀더에 직류 전압을 인가하여 실시하는 것을 특징으로 하는 질화 코팅층 형성방법
7 7
제 1 항에 있어서,상기 질화 코팅층의 미세조직은 비정질 구조와 유사한 특징이 없는(featureless) 구조인 것을 특징으로 하는 질화 코팅층 형성방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.