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빗각 코팅층 형성방법 및 빗각 증착 장치

  • 기술번호 : KST2015107886
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 빗각 코팅층 형성방법 및 빗각 증착 장치에 관한 것으로, 진공 용기; 상기 진공 용기 내에 설치되는 기판 홀더; 및 상기 진공 용기에는 구비되어 진공 증착을 구현하는 진공 증착 소스를 포함하되, 상기 기판 홀더가 제1 회전축에 의해 연결되는 제1 회전 기어와, 상기 제1 회전 기어와 기어결합하는 제2 회전 기어를 포함하며, 상기 제1 회전 기어와 제2 회전 기어에 의해 상기 기판 홀더가 수직면상에서 회전하도록 하는 기판 홀더 회전 장치를 포함하는 빗각 증착 장치 및 이에 의해 빗각 코팅층을 형성하는 방법이 개시된다.
Int. CL C23C 14/46 (2006.01) C23C 14/35 (2006.01)
CPC C23C 14/505(2013.01) C23C 14/505(2013.01) C23C 14/505(2013.01) C23C 14/505(2013.01) C23C 14/505(2013.01)
출원번호/일자 1020120157599 (2012.12.28)
출원인 재단법인 포항산업과학연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2014-0087394 (2014.07.09) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 발송처리완료
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.01.09)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 포항산업과학연구원 대한민국 경북 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 양지훈 대한민국 경북 포항시 남구
2 정재인 대한민국 경북 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 유미특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 서림빌딩 **층 (역삼동)

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.12.28 수리 (Accepted) 1-1-2012-1094377-53
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.05.14 수리 (Accepted) 4-1-2013-0019112-38
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.09.28 수리 (Accepted) 4-1-2016-5138263-79
4 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2017.01.09 수리 (Accepted) 1-1-2017-0025271-76
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2017.11.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.02.06 수리 (Accepted) 9-1-2018-0005385-02
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.04.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0238127-20
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.06.05 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0553099-48
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.06.05 수리 (Accepted) 1-1-2018-0553098-03
10 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2018.09.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0628830-02
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5211042-46
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번호 청구항
1 1
기판을 세척하는 단계;상기 세척된 기판을 진공 장비에 장착하고, 상기 진공 장비 내부를 진공시키는 단계;상기 기판을 청정시키는 단계;상기 기판에 빗각으로 빗각 코팅층을 형성하는 단계를 포함하되,상기 빗각 코팅층은 음극아크 증착 또는 마그네트론 스퍼터링에 의해 형성되되, 상기 빗각 코팅층 형성시 기판 회전이 가능한 장치를 이용하여 다층 또는 구조가 제어된 빗각 코팅층 형성방법
2 2
제1항에 있어서,상기 음극아크 증착에 의한 경우에는 질화 티타늄 코팅층이 형성되는 것을 특징으로 하는 빗각 코팅층 형성방법
3 3
제1항에 있어서,상기 마그네트론 스퍼터링에 의한 경우에는 알루미늄 코팅층이 형성되는 것을 특징으로 하는 빗각 코팅층 형성방법
4 4
제1항에 있어서,상기 빗각의 크기 θ는 0°003c# θ ≤ 90°인 것을 특징으로 하는 빗각 코팅층 형성방법
5 5
진공 용기;상기 진공 용기 내에 설치되는 기판 홀더; 및상기 진공 용기에는 구비되어 진공 증착을 구현하는 진공 증착 소스를 포함하되,상기 기판 홀더가 제1 회전축에 의해 연결되는 제1 회전 기어와, 상기 제1 회전 기어와 기어결합하는 제2 회전 기어를 포함하며, 상기 제1 회전 기어와 제2 회전 기어에 의해 상기 기판 홀더가 수직면상에서 회전하도록 하는 기판 홀더 회전 장치를 포함하는 빗각 증착 장치
6 6
제5항에 있어서,상기 기판 홀더 회전 장치는 제1 회전 기어 및 제2 회전 기어가 구비되어 그 회전에 의해 상기 시편 홀더가 수평면상에서 회전하도록 기어 하우징을 더 포함하는 빗각 증착 장치
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제6항에 있어서,상기 제2 회전축은 상기 기어 하우징과 독립적으로 회전하는 것을 특징으로 하는 빗각 증착 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.