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SiC 가공 시 발생하는 SiC 폐슬러리로부터 절삭액과 피절삭재 및 절삭재를 분리하는 SiC 폐슬러리의 피절삭재 및 절삭재 분리 장치에 있어서,SiC 반도체 웨이퍼 가공 작업 중에 발생한 폐슬러리가 유입되는 유입관과, 상기 폐슬러리가 배출되는 배출관을 갖는 폐슬러리 탱크;상기 폐슬러리 탱크내의 절삭액을 흡입하여 상기 배출관측으로 배출하는 진공 펌프;상기 배출관에 설치되고, 상기 폐슬러리에 존재하는 절삭액과 절삭재 및 피절삭재들을 1차로 분리하는 여과 필터;상기 여과 필터에 의하여 분리된 절삭재 및 피절삭재들의 고형분에 포함된 불순물을 열처리하여 제거하기 위한 불순물 열처리부: 및상기 여과 필터에 의하여 분리된 절삭액을 저장하는 절삭액 탱크를 포함하는 SiC 폐슬러리의 피절삭재 및 절삭재 분리 장치
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제1항에 있어서,상기 폐슬러리 탱크에는 상기 폐슬러리의 응집된 입자들을 분산하기 위한 교반기가 설치되는 SiC 폐슬러리의 피절삭재 및 절삭재 분리 장치
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제2항에 있어서,상기 폐슬러리 탱크에는 상기 응집된 입자들을 분산하는 초음파 처리기가 설치되는 SiC 폐슬러리의 피절삭재 및 절삭재 분리 장치
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제1항에 있어서,상기 폐슬러리 탱크에는 상기 폐슬러리 탱크 내에 초순수를 공급하기 위한 초순수 공급관이 구비되는 SiC 폐슬러리의 피절삭재 및 절삭재 분리 장치
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제1항에 있어서,상기 여과 필터는 다수의 기공을 가지며 그 내부가 서로 연결되어 있는 격자 구조를 갖는 SiC 폐슬러리의 피절삭재 및 절삭재 분리 장치
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제4항에 있어서,상기 여과 필터의 재질은 기공 형성이 가능한 세라믹 소재나 폴리머 소재 혹은 금속 소재로 이루어지는 SiC 폐슬러리의 피절삭재 및 절삭재 분리 장치
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제1항에 있어서,상기 절삭액에는 비이온계 계면활성제와, 알코올 또는 솔벤트류가 각각 1~15%, 5~40% 첨가되는 SiC 폐슬러리의 피절삭재 및 절삭재 분리 장치
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제7항에 있어서,상기 폐슬러리 탱크의 하단부에는 침전물을 침전시켜 저장할 수 있는 침전물 저장부를 구비하는 SiC 폐슬러리의 피절삭재 및 절삭재 분리 장치
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제4항에 있어서,상기 유입관과 상기 초순수 공급관은 상기 폐슬러리 탱크의 상부에 설치되고, 상기 배출관은 상기 폐슬러리 탱크의 하부에 설치되는 SiC 폐슬러리의 피절삭재 및 절삭재 분리 장치
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SiC 반도체 웨이퍼 가공 작업 중에 발생한 폐슬러리가 유입관을 통하여 폐슬러리 탱크에 유입되는 유입 단계;진공펌프를 이용하여 상기 폐슬러리 탱크 내의 용액을 흡입하여 상기 폐슬러리 탱크의 배출관을 통하여 배출하는 배출 단계;상기 폐슬러리를 여과하여 상기 폐슬러리에 존재하는 절삭액과 절삭재 및 피절삭재를 1차로 분리하는 1차 분리 단계;상기 1차 분리 단계에서 분리된 절삭액을 오일과 물로 분리하는 절삭액 분리 단계, 및 상기 절삭재 및 피절삭재를 건조한 후 열처리하는 건조 및 열처리 단계를 포함하는 구비하는 SiC 폐슬러리의 피절삭재 및 절삭재 분리 방법
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제10항에 있어서,상기 절삭액 분리 단계에서 분리된 오일과 물을 저장하여 폐액 처리하는 폐액 처리 단계, 및 상기 건조 및 열처리 단계에서 불순물이 제거된 절삭재 및 피절삭재를 분급하여 재활용하는 분급, 재활용 단계를 포함하는 SiC 폐슬러리의 피절삭재 및 절삭재 분리 방법
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제10항 또는 제11항에 있어서,상기 1차 분리 단계와 상기 절삭액 분리 단계 사이에 비이온계 계면활성제와 알코올 혹은 솔벤트류가 각각 첨가되는 첨가 단계를 포함하는 SiC 폐슬러리의 피절삭재 및 절삭재 분리 방법
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제12항에 있어서,상기 첨가 단계에서 비이온계 계면활성제와, 알코올 또는 솔벤트류가 각각 1~15%, 5~40% 첨가되는 SiC 폐슬러리의 피절삭재 및 절삭재 분리 방법
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제10항 또는 제11항에 있어서,상기 1차 분리 단계와 상기 건조 및 열처리 단계 사이에 상기 절삭재 및 피절삭재들의 입자에 붙어 있는 계면 활성제 및 불순물들을 제거하기 위하여 상기 절삭재 및 피절삭재를 수세 또는 산세척하는 세척 단계를 포함하는 SiC 폐슬러리의 피절삭재 및 절삭재 분리 방법
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제14항에 있어서,상기 세척 단계에서 산세척은 산도 3~30%가 되도록 질산과 불산을 물과 혼합한 산성용액으로 실시되는 SiC 폐슬러리의 피절삭재 및 절삭재 분리 방법
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