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탄화규소(SiC) 기판 평탄화 장치 및 방법

  • 기술번호 : KST2015108079
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 SiC 기판의 연마 공정에 소요되는 시간을 최대한 단축할 수 있도록, 탄화규소 기판이 장착되는 척테이블과, 고속 회전되어 탄화규소 기판 표면을 연마하는 그라인딩 휠, 상기 기판과 그라인딩 휠 사이로 냉각수를 공급하기 위한 냉각수 공급라인, 상기 기판과 그라인딩 휠 사이로 연마가속제를 공급하기 위한 연마제 공급라인을 포함하고, 상기 연마제 공급라인은 연마가속제로 아민 계열의 피페라진(piperazine)과 과산화수소(H2O2)의 혼합물을 공급하는 구조의 탄화규소 기판 평탄화 장치 및 방법을 제공한다.
Int. CL B24B 37/04 (2006.01.01) H01L 21/306 (2006.01.01)
CPC B24B 37/04(2013.01) B24B 37/04(2013.01)
출원번호/일자 1020130146544 (2013.11.28)
출원인 재단법인 포항산업과학연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2015-0062244 (2015.06.08) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.11.14)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 포항산업과학연구원 대한민국 경북 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김장열 대한민국 경북 포항시 남구
2 김흥락 대한민국 경북 포항시 남구
3 이승석 대한민국 경북 포항시 남구
4 은태희 대한민국 경북 포항시 남구
5 여임규 대한민국 경북 포항시 남구
6 서한석 대한민국 경북 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 유미특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 서림빌딩 **층 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.11.28 수리 (Accepted) 1-1-2013-1090505-53
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.09.28 수리 (Accepted) 4-1-2016-5138263-79
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2017.08.16 수리 (Accepted) 1-1-2017-0788252-48
4 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2018.11.14 수리 (Accepted) 1-1-2018-1131641-33
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5211042-46
6 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2019.11.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
7 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2019.12.06 수리 (Accepted) 9-1-2019-0054798-16
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2020.04.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0283688-14
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2020.06.22 수리 (Accepted) 1-1-2020-0638056-60
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.06.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0638057-16
11 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2020.09.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0655180-14
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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탄화규소 기판이 장착되는 척테이블과, 고속 회전되어 탄화규소 기판 표면을 연마하는 그라인딩 휠, 상기 기판과 그라인딩 휠 사이로 냉각수를 공급하기 위한 냉각수 공급라인, 상기 기판과 그라인딩 휠 사이로 연마가속제를 공급하기 위한 연마제 공급라인을 포함하고,상기 연마제 공급라인은 연마가속제로 아민 계열의 피페라진(piperazine)과 과산화수소(H2O2)의 혼합물을 공급하는 구조의 탄화규소 기판 평탄화 장치
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제 1 항에 있어서,상기 그라인딩 휠은 탄화규소 기판을 연마하는 연마팁이 설치되고, 상기 연마팁은 다이아몬드 재질로 이루어진 탄화규소 기판 평탄화 장치
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 연마가속제는 피페라진이 0
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탄화규소 기판 평탄화 방법에 있어서,연마 대상이 되는 탄화규소 기판을 척테이블에 장착하는 단계와, 탄화규소 기판과 연마용 그라인딩 휠 사이에 냉각수와 연마가속제를 공급하는 단계, 그라인딩 휠을 회전시켜 탄화규소 기판을 연마하는 단계를 포함하며,상기 연마가속제는 아민 계열의 피페라진(piperazine)과 과산화수소(H2O2)의 혼합물을 포함하는 탄화규소 기판 평탄화 방법
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제 4 항에 있어서,상기 연마가속제는 피페라진이 0
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 (주) 포스코 소재부품기술개발사업(WPM) 고품위 SiC 단결정 웨이퍼 제조 기술