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투명도전성 박막 조성물, 이를 이용한 투명도전성 박막 형성방법

  • 기술번호 : KST2015108172
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 실시예에서는 투명도전성 박막 조성물 및 이를 이용한 투명도전성 박막 형성방법이 개시된다. 투명도전성 박막 조성물은 인듐(In), 갈륨(Ga), 게르마늄(Ge), 아연(Zn) 및 산소(O2)를 포함하되, 상기 인듐, 갈륨, 게르마늄 및 아연의 원자수의 비가 하기 식을 만족한다.25 ≤ (In+Ga)/(In+Ga+Ge+Zn) ≤ 70
Int. CL C04B 35/622 (2006.01) H01B 13/00 (2006.01) H01B 1/08 (2006.01)
CPC C23C 14/00(2013.01) C23C 14/00(2013.01) C23C 14/00(2013.01) C23C 14/00(2013.01)
출원번호/일자 1020130164629 (2013.12.26)
출원인 재단법인 포항산업과학연구원
등록번호/일자 10-1597294-0000 (2016.02.18)
공개번호/일자 10-2015-0076450 (2015.07.07) 문서열기
공고번호/일자 (20160225) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.07.17)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 포항산업과학연구원 대한민국 경북 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이영주 대한민국 경북 포항시 남구
2 김주영 대한민국 경북 포항시 남구
3 오윤석 대한민국 경북 포항시 남구
4 양혁 대한민국 경북 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 유미특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 서림빌딩 **층 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 포항산업과학연구원 경북 포항시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.12.26 수리 (Accepted) 1-1-2013-1192762-39
2 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2014.07.17 수리 (Accepted) 1-1-2014-0671988-19
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.09.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0635237-97
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.11.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-1100060-97
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.11.11 수리 (Accepted) 1-1-2015-1100050-30
6 등록결정서
Decision to grant
2016.02.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0104891-51
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.09.28 수리 (Accepted) 4-1-2016-5138263-79
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5211042-46
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번호 청구항
1 1
인듐(In), 갈륨(Ga), 게르마늄(Ge), 아연(Zn) 및 산소(O2)를 포함하되,상기 인듐, 갈륨, 게르마늄 및 아연의 원자수의 비가 하기 식 1 내지 식 5를 만족하는 투명도전성 박막 조성물
2 2
제 1 항에 있어서,상기 투명도전성 박막 조성물의 투과율은 90% 이상인 투명도전성 박막 조성물
3 3
산화 인듐(In2O3), 산화 갈륨(Ga2O3), 산화 게르마늄(GeO2) 및 산화 아연(ZnO) 분말을 혼합하여 혼합물을 제조하는 단계;상기 혼합물을 금형에 넣고 프레스로 성형한 후 열처리하여 소결하는 소결체를 제조하는 단계; 및상기 소결체를 이용하여 스퍼터링하여 준비된 기판에 박막을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 박막의 인듐, 갈륨, 게르마늄, 및 아연의 원자수의 비가 하기 식 1 내지 식 5를 만족하는 투명도전성 박막 형성방법
4 4
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국산업기술진흥원 지역전략산업진흥사업 다성분 금속산화물계 투명 도전성 조성 및 타겟 개발(3/3)