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인듐-갈륨-아연계 스퍼터링 타겟 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015108216
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 인듐-갈륨-아연계 스퍼터링 타겟 제조 방법이 개시된다. 본 발명에 의한 인듐-갈륨-아연계 스퍼터링 타겟 제조 방법은 인듐 질산염 : 갈륨 질산염 : 아연 질산염 분말을 0.8~1.2 : 0.8~1.2 : 10~20 의 몰비로 준비 하여 1차 분쇄 하는 단계; 1차 분쇄된 분말에 아세톤을 첨가하여 2차 분쇄 하는 단계; 상기 아세톤 용액에 불산을 첨가하여 불화물을 생성 하는 단계; 상기 불화물을 건조하고 소결하는 단계를 포함한다.
Int. CL C23C 14/34 (2006.01) B22F 9/04 (2006.01) B22F 3/12 (2006.01) C23C 14/14 (2006.01)
CPC C23C 14/3414(2013.01) C23C 14/3414(2013.01) C23C 14/3414(2013.01)
출원번호/일자 1020130164034 (2013.12.26)
출원인 재단법인 포항산업과학연구원
등록번호/일자 10-1616881-0000 (2016.04.25)
공개번호/일자 10-2015-0076350 (2015.07.07) 문서열기
공고번호/일자 (20160502) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.07.17)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 포항산업과학연구원 대한민국 경북 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 양혁 대한민국 경북 포항시 남구
2 이영주 대한민국 경북 포항시 남구
3 김주영 대한민국 경북 포항시 남구
4 오윤석 대한민국 경북 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 유미특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 서림빌딩 **층 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 포항산업과학연구원 경북 포항시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.12.26 수리 (Accepted) 1-1-2013-1190002-12
2 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2014.07.17 수리 (Accepted) 1-1-2014-0671987-63
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2015.05.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2015.07.10 수리 (Accepted) 9-1-2015-0043415-50
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.11.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0763895-22
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.01.04 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0004271-05
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.01.04 수리 (Accepted) 1-1-2016-0004254-28
8 등록결정서
Decision to grant
2016.03.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0173294-10
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.09.28 수리 (Accepted) 4-1-2016-5138263-79
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5211042-46
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
인듐 질산염 : 갈륨 질산염 : 아연 질산염 분말을 0
2 2
제1항에 있어서,상기 1차 분쇄 단계는 3~6 시간 수행하는 인듐-갈륨-아연계 스퍼터링 타겟 제조 방법
3 3
제2항에 있어서,상기 불산 : 아세톤은 부피비로 1 : 5~20 으로 첨가되는 인듐-갈륨-아연계 스퍼터링 타겟 제조 방법
4 4
제 3 항에 있어서,소결이 완료된 스퍼터링 타겟의 밀도는 5
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국산업기술진흥원 지역전략산업진흥사업 다성분 금속산화물계 투명 도전성 조성 및 타겟 개발(3/3)