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수소가스 검출 장치

  • 기술번호 : KST2015108967
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본원발명은 제작비용을 줄일 수 있으면서도 수소의 농도의 측정 신뢰도를 향상시킬 수 있도록 하는 수소가스 검출 장치를 제공하는 것을 그 목적으로 하며,상기 목적을 달성하기 위하여 실리콘 기판과; 상기 실리콘 기판 상에 일정 간격을 가지고 지지재그 형상을 이루도록 배치되어 저항값을 출력하는 수소가스센서소자와; 상기 소수가스센서소자의 배열과 대응되고 양단부 및 저면이 개방된 지지재그 형상의 마이크로 채널을 가지며 상기 개방된 저면이 상기 실리콘 기판을 향하도록 상기 실리콘 기판위에 형성되는 유리층;을 포함하여 구성되는 것을 특징을 한다.수소가스 검출, Pd-Pt 저항체 배열, 지그재그 형상의 마이크로채널, 실리콘 기판
Int. CL G01N 27/12 (2006.01)
CPC G01N 27/12(2013.01) G01N 27/12(2013.01) G01N 27/12(2013.01) G01N 27/12(2013.01) G01N 27/12(2013.01)
출원번호/일자 1020060133007 (2006.12.22)
출원인 재단법인 포항산업과학연구원, 세종공업 주식회사
등록번호/일자 10-1340453-0000 (2013.12.05)
공개번호/일자 10-2008-0058852 (2008.06.26) 문서열기
공고번호/일자 (20131211) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.12.19)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 포항산업과학연구원 대한민국 경북 포항시 남구
2 세종공업 주식회사 대한민국 울산광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이경일 대한민국 경북 포항시 북구
2 김흥락 대한민국 경북 경주시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 홍성철 대한민국 서울특별시 금천구 가산디지털*로 ***, 에이스하이-엔드타워*제*층 ***호 홍익국제특허법률사무소 (가산동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 포항산업과학연구원 경북 포항시 남구
2 세종공업 주식회사 울산광역시 북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2006.12.22 수리 (Accepted) 1-1-2006-0956741-24
2 보정요구서
Request for Amendment
2006.12.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2006-0156514-17
3 서지사항보정서
Amendment to Bibliographic items
2007.01.08 수리 (Accepted) 1-1-2007-0014648-82
4 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2011.12.19 수리 (Accepted) 1-1-2011-1005312-08
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.08.23 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.10.04 수리 (Accepted) 9-1-2012-0075360-17
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.01.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0035631-97
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2013.03.18 수리 (Accepted) 1-1-2013-0231241-90
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.04.11 수리 (Accepted) 1-1-2013-0316684-17
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.04.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0316685-63
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.05.14 수리 (Accepted) 4-1-2013-0019112-38
12 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2013.08.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0581298-92
13 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.10.23 수리 (Accepted) 1-1-2013-0957082-54
14 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.10.23 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2013-0957083-00
15 등록결정서
Decision to grant
2013.11.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0832535-39
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.09.11 수리 (Accepted) 4-1-2015-5122424-70
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.09.28 수리 (Accepted) 4-1-2016-5138263-79
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5211042-46
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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실리콘 기판과;외부로부터 가스가 유입되는 유입구, 상기 가스가 배출되는 배출구 및 상기 유입구와 상기 배출구 사이에 지그재그 형상으로 형성되며 상기 가스가 이동 가능하도록 저면이 개방된 마이크로 채널을 가지며, 상기 개방된 저면이 상기 실리콘 기판을 향하도록 상기 실리콘 기판위에 형성되는 유리층;및상기 마이크로 채널의 내부에 기설정된 거리만큼 이격설치되며, 지지재그 형상을 이루도록 배치되어 각각 저항값을 출력하는 복수의 수소가스센서소자;를 포함하되,상기 수소가스센서소자의 지그재그 방향은 상기 마이크로 채널의 지그재그 방향에 대해 횡방향으로 형성되며,상기 수소가스센서소자는 상기 유입구에 가까운 순서대로 상기 저항값을 출력하는 것을 특징으로 하는 수소가스 검출장치
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청구항 1에 있어서, 상기 실리콘 기판은 Si벌크(Bulk) 위에 SiO2 층이 형성되고, SiO2 층 위에 Si층이 형성되며, 상기 수소가스센서소자와 상기 유리층은 상기 Si 층 위에 형성되는 것을 특징으로 하는 수소가스 검출장치
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청구항 2에 있어서, 상기 유리층은 상기 실리콘층 상에 본딩에 의해 부착 형성되는 것을 특징으로 하는 수소가스 검출장치
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청구항 3에 있어서, 상기 수소가스센서소자는 팔라듐-백금 저항체(Pd/Pt층)가 지그재그형상의 띠로 형성되는 것을 특징으로 하는 수소가스 검출장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.