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초음파를 이용한 고품질 박막의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015109074
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 초음파를 이용한 박막의 제조에 관한 것이며; 그 목적은 박막의 형성과정에서 대상체에 또는 대상체 및 증발원의 양쪽 모두에 초음파를 인가하여 박막의 형성율을 높이고 고품질의 박막을 형성하고자 함에 있다.상기 목적 달성을 위한 본 발명은 챔버(15) 내의 증발원(12)을 증착하여 대상체(11)의 표면에 박막(14)을 제조하는 방법에 있어서, 상기 대상체에 초음파를 인가하거나 또는 상기 대상체와 증발원 양쪽 모두에 초음파를 인가하면서 상기 증발원의 입자를 대상체의 표면에 증착하여 구성되는, 초음파를 이용한 고품질 박막의 제조방법에 관한 것이다.박막, 스퍼터링, 진공증착, 초음파, 증발원
Int. CL H01L 21/203 (2006.01)
CPC C23C 14/548(2013.01) C23C 14/548(2013.01)
출원번호/일자 1020000048899 (2000.08.23)
출원인 주식회사 포스코, 재단법인 포항산업과학연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2002-0015788 (2002.03.02) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2002.07.05)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 포스코 대한민국 경상북도 포항시 남구
2 재단법인 포항산업과학연구원 대한민국 경북 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김구화 대한민국 경상북도포항시남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인씨엔에스 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, 대림아크로텔 *층(도곡동)
2 전준항 대한민국 서울특별시 강남구 언주로**길 **, 대림아크로텔 ****호 (도곡동)

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2000.08.23 수리 (Accepted) 1-1-2000-0176590-24
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2002.03.21 수리 (Accepted) 4-1-2002-0027128-10
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2002.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2002-0043602-26
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2002.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2002-0043593-03
5 출원심사청구서
Request for Examination
2002.07.05 수리 (Accepted) 1-1-2002-5167520-46
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2002.08.13 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065864-86
7 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2004.03.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
8 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2004.04.13 수리 (Accepted) 9-1-2004-0020908-94
9 출원인정보변경(경정)신고서
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2004.06.15 수리 (Accepted) 4-1-2004-0025494-38
10 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2004.10.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0427940-17
11 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2004.12.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0545981-13
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2005.03.04 수리 (Accepted) 4-1-2005-5020373-24
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.05.14 수리 (Accepted) 4-1-2013-0019112-38
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.09.28 수리 (Accepted) 4-1-2016-5138263-79
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.04.30 수리 (Accepted) 4-1-2018-5077322-80
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5200802-82
17 출원인정보변경(경정)신고서
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2019.09.30 수리 (Accepted) 4-1-2019-5204006-48
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5211042-46
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번호 청구항
1 1

챔버 내의 증발원을 증착하여 대상체의 표면에 박막을 제조하는 방법에 있어서,

상기 대상체에 초음파를 인가하거나 또는 상기 대상체와 증발원 양쪽 모두에 초음파를 인가하면서 상기 증발원의 입자를 대상체의 표면에 증착하여 구성됨을 특징으로 하는 초음파를 이용한 고품질 박막의 제조방법

2 2

제1항에 있어서, 초음파 발생수단을 대상체에 부착하여 초음파를 인가함을 특징으로 하는 박막의 제조방법

3 3

제1항에 있어서, 상기 초음파의 인가는 증착 개시전부터 시작하여 증착이 종료된 직후까지 행함을 특징으로 하는 박막의 제조방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.