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진공 증착 장치

  • 기술번호 : KST2015109234
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 피막재료 증기에 함유된 불순물을 제거함으로써 종래에 비해 물체 표면에 증착되는 피막층이 고순도의 피막재료로 형성되는 진공 증착 장치에 관한 것이다. 본 발명의 진공 증착 장치는 진공실, 피막재료가 담겨지고 피막재료를 증기 상태의 피막재료 증기로 변환되게 가열하는 증발 용기, 증발 용기에 연통되면서 피막재료 증기를 기 설정된 방향으로 유도하는 증기 이송관, 및 증기 이송관에 설치되어 외부의 제어 신호에 따라 피막재료 증기를 배출시키는 방향이 달라지도록 작동되는 증기 제어 밸브를 포함한다. 피막, 박막, 증착, 진공, 마그네슘, 고순도
Int. CL C23C 14/24 (2006.01) C23C 14/00 (2006.01)
CPC C23C 14/243(2013.01) C23C 14/243(2013.01) C23C 14/243(2013.01) C23C 14/243(2013.01) C23C 14/243(2013.01)
출원번호/일자 1020070134169 (2007.12.20)
출원인 재단법인 포항산업과학연구원, 주식회사 포스코
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2009-0066569 (2009.06.24) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.12.20)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 포항산업과학연구원 대한민국 경북 포항시 남구
2 주식회사 포스코 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정재인 경상북도 포항시 남구
2 양지훈 대한민국 경북 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 유미특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 서림빌딩 **층 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2007.12.20 수리 (Accepted) 1-1-2007-0914593-24
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2008.07.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2008.08.12 수리 (Accepted) 9-1-2008-0049693-23
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2009.10.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0433270-15
5 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2010.01.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0014122-18
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.05.14 수리 (Accepted) 4-1-2013-0019112-38
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.09.28 수리 (Accepted) 4-1-2016-5138263-79
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.04.30 수리 (Accepted) 4-1-2018-5077322-80
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5200802-82
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.09.30 수리 (Accepted) 4-1-2019-5204006-48
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5211042-46
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
진공실; 상기 진공실의 내부 공간에 설치되며, 피막재료가 담겨지고, 상기 피막재료를 증기 상태의 피막재료 증기로 변환되게 가열하는 증발 용기; 상기 증발 용기에 연통되면서, 상기 피막재료 증기를 기 설정된 방향으로 유도하는 증기 이송관; 및 상기 증기 이송관에 설치되어, 외부의 제어 신호에 따라 상기 피막재료 증기를 배출시키는 방향이 달라지도록 작동되는 증기 제어 밸브;를 포함하는 진공 증착 장치
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 증기 이송관은 상기 피막재료 증기를 물체의 표면으로 유도하는 제1 증기 배출관; 및 상기 제1 증기 배출관의 어느 일 지점에 연통되면서 상기 피막재료 증기의 배출경로를 달리하는 제2 증기 배출관;을 포함하고, 상기 증기 제어 밸브는 상기 제1 증기 배출관에 설치되면서 상기 피막재료 증기의 유도 흐름을 선택적으로 개폐하는 제1 증기 제어 밸브; 및 상기 제2 증기 배출관에 설치되면서 상기 제1 증기 제어 밸브에 연동되어 상기 피막재료 증기의 유도 흐름을 선택적으로 개폐하는 제2 증기 제어 밸브를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 증착 장치
3 3
제 2 항에 있어서, 상기 제1 증기 배출관의 배출 단부에 위치하면서 상기 피막재료 증기를 균일하게 분배시키는 증기 분배 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 증착 장치
4 4
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 피막재료는 마그네슘 금속인 것을 특징으로 하는 진공 증착 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.