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표면결함신호 보정방법

  • 기술번호 : KST2015109432
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 표면결함신호 보정방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 물체표면의 바탕보정을 통하여 표면결함의 검출능을 향상시키는 표면결함신호 보정방법을 제공하고자 하는데 그 목적이 있다.본 발명은 레이저(1)에서 물체표면(8)에 주사되는 광선중 빛살가르개(2)로부터 반사된 광선을 감지하는 광검지기(3), 빛살가르개(2), 공간필터(5), 조리개(6), 큰렌즈(7) 또는/및 작은 렌즈(10)를 통과한 후 물체표면(8)에 반사된 광선을 감지하는 광검지기들(각각 9, 12), 및 상기 광검지기들(3, 9, 12)과 인터페이스된 컴퓨터(4)를 통하여 이들로 부터 발생한 신호를 입력하여 각각 기준신호, 바탕신호 및 결함신호를 측정한 후 이 측정치들을 이용하여 바탕신호를 보정함으로써 보정된 표면결함신호를 산출할 수 있도록 하는 표면결함신호 보정방법을 그 요지로 한다.
Int. CL G01N 21/00 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1019960070053 (1996.12.23)
출원인 주식회사 포스코, 재단법인 포항산업과학연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-1998-0051179 (1998.09.15) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 취하
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
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심사청구여부/일자 N
심사청구항수 0

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 포스코 대한민국 경상북도 포항시 남구
2 재단법인 포항산업과학연구원 대한민국 경북 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김달우 대한민국 경상북도 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 손원 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, 대림아크로텔 *층(도곡동)(특허법인씨엔에스)
2 이성동 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, 대림아크로텔 *층(도곡동)(특허법인씨엔에스)
3 전준항 대한민국 서울특별시 강남구 언주로**길 **, 대림아크로텔 ****호 (도곡동)

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
1996.12.23 수리 (Accepted) 1-1-1996-0231971-00
2 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent
1996.12.23 수리 (Accepted) 1-1-1996-0231972-45
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2000.01.21 수리 (Accepted) 4-1-2000-0007991-58
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2002.03.21 수리 (Accepted) 4-1-2002-0027128-10
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2002.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2002-0043602-26
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2002.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2002-0043593-03
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2002.08.13 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065864-86
8 출원인정보변경(경정)신고서
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2004.06.15 수리 (Accepted) 4-1-2004-0025494-38
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2005.03.04 수리 (Accepted) 4-1-2005-5020373-24
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.05.14 수리 (Accepted) 4-1-2013-0019112-38
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.09.28 수리 (Accepted) 4-1-2016-5138263-79
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.04.30 수리 (Accepted) 4-1-2018-5077322-80
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5200802-82
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.09.30 수리 (Accepted) 4-1-2019-5204006-48
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5211042-46
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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레이저(1)에서 물체표면(8)에 주사되는 광선을 가르는 빛살가르개(2), 빛살가르개를 통과한 광선을 확산시키는 공간필터(5), 공간필터를 통과한 광선을 조절하는 조리개(6), 조리개를 통과한 광선을 평행광선으로 만드는 큰 렌즈(7), 상기 광선을 감지하는 광검지기(3, 9, 12) 및 광검지기와 인터폐이스된 컴퓨터(4)를 포함하여 구성되는 표면결함신호 보정장치를 이용하여 물체 표면의 결함신호를 보정하는 방법에 있어서,상기 컴퓨터(4)에 의하여 상기 레이저 광선중 상기 빛살가르개(2)에 의하여 반사된 광선을 감지하는 광검지기(3)로부터 발생된 신호를 입력하여 기준신호를 측정하고, 상기 빛살가르개(2), 공간필터(5), 조리개(8) 및 큰 렌즈(7)를 통과한 후 물체표면에 반사된 광선을 감지하는 광검지기(9)로부터 발생된 신호를 입력하여 바탕신호를 측정하고, 동시에 상기 큰 렌즈(7)의 하부에 위치하며 상기 평행광선의 폭보다 직경이 작고 초점길이가 긴 작은 렌즈(10)를 통과한 후 물체표면에 반사된 광선을 감지하는 광검지기(12)로부터 발생된 신호를 입력하여 결함신호를 측정하는 단계, 및 상기 컴퓨터(4)에 의하여 상기 측정된 기준신호, 바탕신호 및 결함신호를 계산하여 보정된 결함신호를 산출하는 단계를 포함하는 표면결함신호 보정방법

2 2

제1항에 있어서, 상기 보정된 결함신호를 산출하는 식은,

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