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초소형전자정밀기계(MEMS) 구조의 경사각 측정 센서에 있어서,실리콘 온 인슐레이터(SOI)에 고정단이 고정되고, 검출면에 수직으로 자유단이 뻗도록 형성된 컨틸레버부;상기 컨틸레버부의 자유단에, 일측의 면적을 크게 하여 일체로 형성되어, 바이몰프 구동부로부터 전달되는 진동을 수신하기 위한 매스부;상기 매스부의 진동에 의한 상기 컨틸레버부의 왜곡을 저항의 변화로 변환하기 위하여, 상기 컨틸레버부의 고정단 부근에 형성되는 저항부; 및인가되는 정현파를 상기 매스부에 인가하기 위하여, 상기 실리콘 온 인슐레이터에 설치되는 바이몰프 구동부를 포함하는 MEMS 구조의 경사각 측정 센서
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제1항에 기재된 MEMS 구조의 경사각 측정 센서를 구비하는, MEMS 구조의 경사각 측정 센서를 이용한 경사각 검출 장치에 있어서,발진주파수의 정현파를 생성하기 위한 정현파 생성 수단;상기 정현파 생성 수단으로부터 수신한 신호를 증폭하여 상기 경사각 측정 센서에 전달하기 위한 증폭 수단;상기 경사각 측정 센서의 상기 저항부로부터 수신한 신호의 진동의 변화분을 검출하기 위한 브릿지 수단;상기 정현파 생성 수단이 생성한 정현파 성분과, 상기 브릿지 수단으로부터 수신한 위상 지연이 발생한 정현파 성분을 비교하여, 위상차를 검출하기 위한 비교 수단;상기 비교 수단으로부터 수신한 아날로그 신호를 디지털 신호로 변환하기 위한 제 1변환 수단;상기 제 1변환 수단으로부터 수신한 신호를 직렬신호로 변환하기 위한 제 2변환 수단; 및 상기 직렬신호를 외부로 전송하기 위한 송신 수단을 포함하는 MEMS 구조의 경사각 측정 센서를 이용한 경사각 검출 장치
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제3항에 있어서,구동을 위한 전원부를 더 포함하는 MEMS 구조의 경사각 측정 센서를 이용한 경사각 검출 장치
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제3항에 있어서,상기 송신 수단은,상기 직렬신호에 고유번호 및 순환중복검사(CRC) 확인을 위한 데이터를 포함하게 하여 전송하는 것을 특징으로 하는 MEMS 구조의 경사각 측정 센서를 이용한 경사각 검출 장치
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제3항에 있어서,상기 송신 수단은,상기 직렬신호에 고유번호 및 순환중복검사(CRC) 확인을 위한 데이터를 포함하게 하여 전송하는 것을 특징으로 하는 MEMS 구조의 경사각 측정 센서를 이용한 경사각 검출 장치
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