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구리 피막의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015109858
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 구리 피막의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 진공 챔버의 수냉 기판 홀더에 기판을 장입하고, 상기 진공 챔버 내부를 제1 진공 상태로 형성하기 위하여 배기시킨다. 이 후, 상기 진공 챔버 내부로 불활성 기체를 유입시키고 상기 기판에 전압을 인가하여 활성화시키고, 상기 진공 챔버 내부를 제2 진공 상태로 형성하기 위하여 배기시키며, 상기 수냉 기판 홀더에 물을 흐르게 함과 동시에, 상기 기판에 인접하여 위치한 구리를 증발시키고 상기 기판에 바이어스 전압을 인가하여 구리를 코팅한다. 구리 피막, 구리 코팅, 증발율, 바이어스 전압, 수냉 기판 홀더
Int. CL C23C 14/34 (2006.01) C23C 14/02 (2006.01)
CPC C23C 14/3492(2013.01) C23C 14/3492(2013.01) C23C 14/3492(2013.01) C23C 14/3492(2013.01)
출원번호/일자 1020090132784 (2009.12.29)
출원인 재단법인 포항산업과학연구원
등록번호/일자 10-1591025-0000 (2016.01.27)
공개번호/일자 10-2011-0076152 (2011.07.06) 문서열기
공고번호/일자 (20160203) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.02.27)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 포항산업과학연구원 대한민국 경북 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정재인 대한민국 경기 용인시 기흥구
2 양지훈 대한민국 경상북도 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 유미특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 서림빌딩 **층 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 포항산업과학연구원 경북 포항시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.12.29 수리 (Accepted) 1-1-2009-0811901-36
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.05.14 수리 (Accepted) 4-1-2013-0019112-38
3 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2014.02.27 수리 (Accepted) 1-1-2014-0196618-77
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.12.30 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2015.02.10 수리 (Accepted) 9-1-2015-0012569-56
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.07.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0469704-13
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.09.08 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0873583-48
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.09.08 수리 (Accepted) 1-1-2015-0873582-03
9 등록결정서
Decision to grant
2016.01.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0018156-71
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.09.28 수리 (Accepted) 4-1-2016-5138263-79
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5211042-46
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
진공 챔버의 수냉 기판 홀더에 기판을 장입하는 기판 장입 단계; 상기 진공 챔버 내부를 제1 진공 상태로 형성하기 위한 제1 배기 단계; 상기 진공 챔버 내부로 불활성 기체를 유입시키고 상기 기판에 전압을 인가하여 활성화시키는 기판 활성화 단계; 상기 진공 챔버 내부를 제2 진공 상태로 형성하기 위한 제2 배기 단계; 및 상기 수냉 기판 홀더에 물을 흐르게 함과 동시에, 상기 기판에 인접하여 위치한 구리를 증발시키고 상기 기판에 바이어스 전압을 인가하여 상기 기판에 구리를 코팅하는 코팅 단계; 를 포함하고, 상기 코팅 단계는, 제1 구리 증발율에서 제1 바이어스 전압을 인가하여 이루어지는 제1 코팅 단계; 상기 제1 구리 증발율보다 높은 제2 구리 증발율에서, 상기 제1 바이어스 전압보다 작은 절대값을 갖는 제2 바이어스 전압을 인가하여 이루어지는 제2 코팅 단계; 및 상기 제2 구리 증발율보다 높은 제3 구리 증발율에서, 상기 제2 바이어스 전압보다 작은 절대값을 갖는 제3 바이어스 전압을 인가하여 이루어지는 제3 코팅 단계;를 포함하는 구리 피막의 제조방법
2 2
삭제
3 3
제1항에서, 상기 제1 구리 증발율은 상기 제3 구리 증발율의 10% 이하인, 구리 피막의 제조방법
4 4
제1항에서, 상기 제2 구리 증발율은 상기 제3 구리 증발율의 10% 내지 40%의 범위에 속하는, 구리 피막의 제조방법
5 5
제1항에서, 상기 제1 바이어스 전압의 절대값은 상기 제3 바이어스 전압의 절대값의 6배 이상인, 구리 피막의 제조방법
6 6
제1항에서, 상기 제2 바이어스 전압의 절대값은 상기 제3 바이어스 전압의 절대값의 2 내지 4배의 범위에 속하는, 구리 피막의 제조방법
7 7
제1항에서, 상기 기판 장입 단계 전에 상기 기판을 초음파 세척하는 초음파 세척 단계를 더 포함하는 구리 피막의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.