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전도성 기판의 소결체 증착 방법

  • 기술번호 : KST2015109873
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 갈륨, 인듐 및 60중량% 이상의 아연을 혼합한 금속 분말을 준비하는 단계와, 금속 분말을 분쇄 및 혼합하는 단계와, 금속 분말에 일축성형 및 정수압성형을 가한 후, 소결하여 소결체를 제조하는 단계와, 소결체를 기판에 증착하는 단계와, 센서부를 통해 증착된 소결체의 전도성을 측정하는 단계 및 증착된 소결체의 증착 균질성 여부를 판단하는 증착 균질성 판단 단계를 포함하는 전도성 기판의 소결체 증착 방법을 제공한다.
Int. CL C23C 14/34 (2006.01) B22F 3/15 (2006.01)
CPC B22F 3/12(2013.01) B22F 3/12(2013.01) B22F 3/12(2013.01) B22F 3/12(2013.01)
출원번호/일자 1020130164558 (2013.12.26)
출원인 재단법인 포항산업과학연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2015-0076430 (2015.07.07) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.07.17)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 포항산업과학연구원 대한민국 경북 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 양혁 대한민국 경북 포항시 남구
2 이영주 대한민국 경북 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 유미특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 서림빌딩 **층 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.12.26 수리 (Accepted) 1-1-2013-1192603-99
2 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2014.07.17 수리 (Accepted) 1-1-2014-0671986-17
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2015.05.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2015.07.10 수리 (Accepted) 9-1-2015-0047536-69
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.11.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0763899-15
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.01.04 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0004489-40
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.01.04 수리 (Accepted) 1-1-2016-0004431-14
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2016.04.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0257860-90
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.09.28 수리 (Accepted) 4-1-2016-5138263-79
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5211042-46
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
갈륨, 인듐 및 60중량% 이상의 아연을 혼합한 금속 분말을 준비하는 단계;상기 금속 분말을 분쇄 및 혼합하는 단계;상기 금속 분말에 일축성형 및 정수압성형을 가한 후, 소결하여 소결체를 제조하는 단계;상기 소결체를 기판에 증착하는 단계;센서부를 통해 상기 증착된 소결체의 전도성을 측정하는 단계; 및상기 증착된 소결체의 증착 균질성 여부를 판단하는 증착 균질성 판단 단계;를 포함하는 전도성 기판의 소결체 증착 방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 증착 균질성 판단 단계는상기 증착된 소결체가 상기 증착 균질성을 만족하지 못할 경우, 상기 기판을 상기 소결체의 증착 단계로 리턴시키는 전도성 기판의 소결체 증착 방법
3 3
제1항에 있어서, 상기 갈륨, 인듐 및 아연이 이루는 몰수 비는 1 : 1 : 10 내지 1 : 1 : 20 인 전도성 기판의 소결체 증착 방법
4 4
제1항에 있어서,상기 금속 분말의 입도는 10μm 이하인 전도성 기판의 소결체 증착 방법
5 5
제1항에 있어서,상기 기판에 증착된 상기 소결체의 두께가 5μm일 경우, 상기 소결체의 면저항이 100 Ω/□ 이하인 전도성 기판의 소결체 증착 방법
6 6
갈륨, 인듐 및 60중량% 이상의 아연을 혼합한 금속 분말을 준비하는 단계;상기 금속 분말을 분쇄 및 혼합하는 단계;상기 금속 분말에 일축성형 및 정수압성형을 가한 후, 소결하여 소결체를 제조하는 단계;상기 소결체를 증착하는 단계;센서부를 통해 상기 증착된 소결체의 전도성을 측정하는 단계; 및상기 증착된 소결체의 증착 균질성 여부를 판단하는 증착 균질성 판단 단계;를 거쳐 제조된 전도성 기판
7 7
제6항에 있어서,상기 증착된 소결체의 두께가 5μm일 경우, 상기 소결체의 면저항이 100 Ω/□이하를 만족하는 전도성 기판
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국산업기술진흥원 지역전략산업진흥사업 다성분 금속산화물계 투명 도전성 조성 및 타겟 개발(3/3)