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코일(30)이 상호 대각선 방향으로 마주보도록 설치된 자성철심(10)과 원판형의 타겟(20)을 이용하여 타겟(20) 전면에 그 면과 수평한 자장을 인가 하도록 하되, 1코일(30)과 제 4코일(30)에 전류를 인가하여 이 두 코일(30)을 기준으로 전류가 흐르지 않는 제 2, 제 3 코일(30)쪽에는 S극, 전류가 흐르지 않는 제 5, 제 6 코일(30)쪽에는 N극이 형성되어 타겟(20)의 표면에 평행한 자장이 발생되게 하는 단계와, 다시 릴레이로 전류를 인가하는 접점음 바꾸어 제 2코일(30)과 제 5코일(30)에 전류를 인가하여 이 두 코일(30)을 기준으로 전류가 흐르지 않는 제 3, 제 4 코일(30)쪽에는 S극, 전류가 흐르지 않는 제 6, 제 1 코일(30)쪽에는 N극이 형성되어 타겟(20)의 표면에 평행한 자장이 발생되게 하는 단계와, 다시 릴레이로 전류를 인가하는 접점을 바꾸어 제 3 코일(30)과 제 6 코일(30)에 전류를 인가하여 이 두 코일(30)을 기준으로 전류가 흐르지 않는 제 1, 제 2 코일(30)쪽에는 S, 전류가 흐르지 않는 제 4, 제 5 코일(30)쪽에는 N극이 형성되어 타겟(20)의 표면에 평행한 자장이 발생되게 하는 순서로 접점을 쌍으로 계속 변화시켜 타겟(20)에 평행한 자장을 균일하게 인가할 수 있도록 하여서 됨을 특징으로 하는 마그네트론 스퍼터링에서 타겟에 균일한 자장을 인가하는 방법
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도넛츠형의 자성철심(10) 내부에 원판형의 타겟(20)을 위치시켜서된 통상의 것에 있어서, 상기 자성철심(10)에는 코일(30)을 등간격으로 다수개 감아 형성시키되, 코일(30)의 갯수는 짝수가 되도록하고, 상기 코일(30)과 코일(30)은 상호 대각선 방향으로 마주보도록 설치하며, 상기 상호 대각선 방향으로 마주보도록 설치된 코일(30)과 코일(30)간에는 전류를 공급하는 도선을 설치하여서된 구성을 특징으로 하는 마그네트론 스퍼터링에서 타겟에 균일한 자장을 인가하는 장치
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