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기판상에 경질코팅층과 윤활코팅층을 순차 증착시키기 위한 방법에 있어서, 진공실을 대기압 미만으로 진공시키는 단계; 기판에 음의 전압을 인가한 상태에서 아크 증발원에 전원을 인가하여 기판을 청정시키는 단계; 기판의 전압을 강하하여 기판상에 금속계면층을 형성하는 단계; 진공실 내로 반응가스를 도입하여 경질코팅층을 형성하는 단계; 아크 증발원에 인가되는 전원과 반응가스의 도입을 차단하고 Ti 타겟을 스퍼터링하여 금속버퍼층을 형성하는 단계; MoS2 타겟을 스퍼터링하여 MoS2-Ti 코팅층을 형성하는 단계; Ti 타켓에 전원을 차단하여 MoS2 코팅층을 형성하는 단계를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 윤활특성이 우수한 경질코팅 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 아크 증발원은 Ti 이 포함된 금속을 부착하여 Ti 이 포함된 금속계면층을 형성하고, 반응가스로서 질소를 도입하여 Ti 이 포함된 경질코팅층을 형성함을 특징으로 하는 윤활특성이 우수한 경질코팅 제조방법
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제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 MoS2 타겟 및 Ti 타켓에 대하여 비평형 마그네트론 스퍼터링을 수행하는 것을 특징으로 하는 윤활특성이 우수한 경질코팅 제조방법
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기판상에 경질코팅층과 윤활코팅층이 형성된 코팅구조에 있어서, 상기 기판상에 Ti 을 포함하는 금속으로 된 금속계면층, 상기 금속과 반응가스인 질소가 반응하여 생성되는 경질코팅층, Ti으로 된 금속버퍼층, MoS2-Ti 코팅층 및 MoS2 코팅층이 순차적으로 형성되는 것을 특징으로 하는 윤활특성이 우수한 경질코팅 구조
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기판상에 경질코팅층과 윤활코팅층이 형성된 코팅구조에 있어서, 상기 기판상에 Ti 을 포함하는 금속으로 된 금속계면층, 상기 금속과 반응가스인 질소가 반응하여 생성되는 경질코팅층, Ti으로 된 금속버퍼층, MoS2-Ti 코팅층 및 MoS2 코팅층이 순차적으로 형성되는 것을 특징으로 하는 윤활특성이 우수한 경질코팅 구조
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