요약 | 개시된 알루미늄 피막의 제조 방법은, 피막처리가 수행되는 진공실; 상기 진공실의 상부에 고정되고 내부에 시편이 설치되는 배럴; 상기 배럴에 대향되는 진공실 하부에 마련되는 전자빔 증발원; 상기 배럴과 전자빔 증발원 사이에 설치되는 셔터; 상기 전자빔증발원의 일측에 설치되는 필라멘트와 이온화전극; 상기 셔터와 배럴 사이에 설치되는 시편 가열장치를 포함하는 이온플레이팅 장치를 이용하여 상기 배럴에 장착된 시편에 알루미늄 피막을 형성시키는 방법에 있어서, 상기 배럴에 초기 전압을 300V∼600V 정도 인가하여 30∼60분간 증착한 후에 전압을 50∼100V 낮추어 1시간 30분간 증착하고, 상기 필라멘트에 40∼60A의 전류를 흐르게 하고, 상기 이온화전극에는 40∼70V의 전압을, 상기 배럴에는 400∼800mA의 전류를 흐르게 하여 상기 시편가열장치로 시편을 200℃까지 가열하여 이온플레이팅 하는 것을 특징으로 한다. 이에 따르면, 시편의 청정 시간을 단축시킬 수 있으며, 밀착성 및 내식성이 향상되고, 피막의 신뢰도가 향상된 피막을 경제적으로 제조할 수 있는 것이다. |
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Int. CL | C23C 14/46 (2006.01) |
CPC | C23C 14/32(2013.01) C23C 14/32(2013.01) C23C 14/32(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020000049077 (2000.08.24) |
출원인 | 재단법인 포항산업과학연구원 |
등록번호/일자 | 10-0430410-0000 (2004.04.23) |
공개번호/일자 | 10-2002-0016005 (2002.03.04) 문서열기 |
공고번호/일자 | (20040504) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 소멸 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2002.03.04) |
심사청구항수 | 2 |