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ＲＦ 플라즈마를 이용한 텅스텐 금속 나노분말 제조방법

  • 기술번호 : KST2015110485
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 실시예에 따른 RF 플라즈마를 이용한 금속 나노분말 제조방법은, 반응챔버 내부를 불활성가스를 공급하여 불활성분위기로 치환하는 단계, 상기 반응챔버 내부에 RF 수소 플라즈마를 발생시키는 단계, 상기 반응챔버 내부에 삼산화텅스텐 분말을 장입하는 단계, 상기 삼산화텅스텐을 수소 플라즈마로 고온에서 증발시킴과 동시에 수소환원처리하여 기화된 텅스텐 금속을 생성하는 단계, 및 기화된 상기 텅스텐 금속을 응축 또는 급랭시켜 텅스텐 금속 나노분말을 형성하는 단계를 포함할 수 있다. 본 발명에 의하면, RF 플라즈마를 수소환원분위기로 가동하여 금속산화물인 삼산화텅스텐을 수소 환원함과 동시에 고온의 플라즈마를 이용하여 기상증발 응축시켜 텅스텐 금속 나노분말로 제조함으로써, 종래보다 제조공정을 간소화시킬 수 있으며, 이를 통해, 텅스텐 금속 나노분말의 생산성을 향상시킬 수 있고 제조비용을 줄일 수 있다.
Int. CL B82Y 40/00 (2011.01) B82B 3/00 (2006.01) B22F 9/14 (2006.01)
CPC B22F 9/14(2013.01) B22F 9/14(2013.01) B22F 9/14(2013.01) B22F 9/14(2013.01)
출원번호/일자 1020110136802 (2011.12.16)
출원인 재단법인 포항산업과학연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2013-0069190 (2013.06.26) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.12.16)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 포항산업과학연구원 대한민국 경북 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박종일 대한민국 경상북도 포항시 남구
2 조현철 대한민국 경상북도 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 유미특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 서림빌딩 **층 (역삼동)

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.12.16 수리 (Accepted) 1-1-2011-1004601-19
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2013.04.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.05.08 수리 (Accepted) 9-1-2013-0032626-50
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.05.14 수리 (Accepted) 4-1-2013-0019112-38
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.07.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0482213-88
6 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2013.10.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0713375-17
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.09.28 수리 (Accepted) 4-1-2016-5138263-79
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5211042-46
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
반응챔버 내부를 불활성가스를 공급하여 불활성분위기로 치환하는 단계, 상기 반응챔버 내부에 RF 수소 플라즈마를 발생시키는 단계, 상기 반응챔버 내부에 산화텅스텐 분말을 장입하는 단계, 상기 산화텅스텐을 수소 플라즈마로 고온에서 증발시킴과 동시에 수소환원처리하여 기화된 텅스텐 금속을 생성하는 단계, 및 기화된 상기 텅스텐 금속을 응축 또는 급랭시켜 텅스텐 금속 나노분말을 형성하는 단계; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 RF 플라즈마를 이용한 금속 나노분말 제조방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 RF 플라즈마는 15 내지 200㎾의 용량을 출력하는 플라즈마 발생기에 의해서 생성되는 것을 특징으로 하는 RF 플라즈마를 이용한 금속 나노분말 제조방법
3 3
제1항에 있어서, 기화된 상기 텅스텐을 응축 또는 급냉시키기 위해서, 상기 반응챔버 내부로 캔칭 가스를 분사하는 것을 특징으로 하는 RF 플라즈마를 이용한 금속 나노분말 제조방법
4 4
제1항에 있어서, 상기 텅스텐 금속 나노분말을 필터링하여 이를 수거하는 단계; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 RF 플라즈마를 이용한 금속 나노분말 제조방법
5 5
제1항에 있어서, 반응챔버 내부에 산화텅스텐 분말을 장입하는 단계에서, 상기 산화텅스텐 분말은 이송가스와 함께 상기 반응챔버로 투입되는 것을 특징으로 하는 RF 플라즈마를 이용한 금속 나노분말 제조방법
6 6
제1항에 있어서, 산화텅스텐 분말은 삼산화 텅스텐, 이산화 텅스텐을 포함하는 산소를 포함하는 텅스텐 화합물이며, 산화텅스텐 분말 이외의 텅스텐 화합물, 즉, 텅스텐 염화물(WCl6), 텅스텐 불화물(WF6), 텅스텐 카보닐(W(CO)6) 화합물을 사용하여 텅스텐 나노분말을 제조하는 방법
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