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Ta205계 유전체 나노 분말 및 그의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015110520
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 일 실시예에 따른 Ta2O5계 유전체 나노 분말 제조 방법은, Ta2O5-B2O3-ZnO-SiO2-Na2O 계열의 원료 분말을 혼합하여 용융시킨 후 급냉하여 마이크로 분말의 전구체를 제조하는 단계; 상기 전구체를 분말 주입 가스(powder feeding gas)와 함께 전자파 플라즈마 처리장치에 공급하는 단계; 상기 전자파 플라즈마 처리장치에 중앙 가스(central gas) 및 차단 가스(sheath gas)를 공급하는 단계; 상기 전자파 플라즈마 처리장치에서 유도코일에 의해 플라즈마를 발생시키는 단계; 및 상기 전자파 플라즈마 처리장치에 급냉 가스(quenching gas)를 공급하는 단계를 포함한다.RF 플라즈마, 친환경, 유전체, 나노분말, 산화탄탈륨(Ta2O5)
Int. CL H01B 3/12 (2006.01.01) C01G 35/00 (2006.01.01)
CPC H01B 3/12(2013.01) H01B 3/12(2013.01) H01B 3/12(2013.01) H01B 3/12(2013.01) H01B 3/12(2013.01)
출원번호/일자 1020070135624 (2007.12.21)
출원인 재단법인 포항산업과학연구원, 주식회사 케이알엠, 주식회사 미래세라텍
등록번호/일자 10-1466930-0000 (2014.11.24)
공개번호/일자 10-2009-0067833 (2009.06.25) 문서열기
공고번호/일자 (20141201) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.12.21)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 포항산업과학연구원 대한민국 경북 포항시 남구
2 주식회사 케이알엠 대한민국 경상북도 포항시 남구
3 주식회사 미래세라텍 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최승덕 대한민국 경상북도 포항시 남구
2 이영주 대한민국 경상북도 포항시 남구
3 박언병 대한민국 경상북도 포항시 남구
4 박종일 대한민국 경상북도 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 홍성철 대한민국 서울특별시 금천구 가산디지털*로 ***, 에이스하이-엔드타워*제*층 ***호 홍익국제특허법률사무소 (가산동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 포항산업과학연구원 경북 포항시 남구
2 주식회사 케이알엠 경상북도 포항시 남구
3 주식회사 미래세라텍 경상북도 포항시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2007.12.21 수리 (Accepted) 1-1-2007-0921899-54
2 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2012.12.21 수리 (Accepted) 1-1-2012-1065094-68
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.05.14 수리 (Accepted) 4-1-2013-0019112-38
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.05.22 수리 (Accepted) 4-1-2013-0020978-74
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.07.02 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.08.09 수리 (Accepted) 9-1-2013-0065662-56
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.03.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0219178-10
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.05.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0506360-21
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.05.28 수리 (Accepted) 1-1-2014-0506359-85
10 등록결정서
Decision to grant
2014.09.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0635197-13
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.09.28 수리 (Accepted) 4-1-2016-5138263-79
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5211042-46
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
Ta2O5-B2O3-ZnO-SiO2-Na2O 계열의 원료 분말을 혼합하여 용융시킨 후 급냉하여 마이크로 분말의 전구체를 제조하는 단계;상기 전구체를 분말 주입 가스(powder feeding gas)와 함께 전자파 플라즈마 처리장치에 공급하는 단계;상기 전자파 플라즈마 처리장치에 중앙 가스(central gas) 및 차단 가스(sheath gas)를 공급하는 단계;상기 전자파 플라즈마 처리장치에서 유도코일에 의해 플라즈마를 발생시키는 단계; 및상기 전자파 플라즈마 처리장치에 급냉 가스(quenching gas)를 공급하는 단계를 포함하는 Ta2O5계 유전체 나노 분말 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 플라즈마를 발생시키는 단계에서,상기 유도코일에 공급되는 전력이 15~150kW인, Ta2O5계 유전체 나노 분말 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 중앙 가스는,5~50SLPM의 불활성 기체를 포함하고,상기 차단 가스는,10~120SLPM의 불활성 기체 및 10~120SLPM의 산소를 포함하는, Ta2O5계 유전체 나노 분말 제조 방법
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제1항 내지 제3항 중 어느 한 항의 방법에 의하여 제조된 Ta2O5계 유전체 나노 분말에 있어서,상기 Ta2O5계 유전체 나노 분말의 모양은 구형이며, 지름이 50~200nm인, Ta2O5계 유전체 나노 분말
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.