(정정) P-타입 실리콘(41)상에 산화막(41a)을 형성시킨후, 이 산화막(41a)위에 금속전극층(41b)을 형성하여 제작한 단위셀단위인 시편으로 이루어진 실리콘웨이퍼(40);

상기 실리콘웨이퍼(40)상의 각 시편으로의 전원공급을 제어함과 동시에, 상기 실리콘웨이퍼(40)의 다수 시편을 순차적으로 선택하도록 제어하며, 입력되는 누설전류량에 따라 검사된 시편 각각에 대한 특성을 판단하고, 이 판별결과에 따라 사전에 매핑된 해당 색상으로 해당시편을 표시하도록 제어하고, 이 과정을 상기 실리콘웨이퍼상의 모든 시편에 대해 모두 수행한 후 상기 특성결과에 대응되는 색상을 실리콘웨이퍼의 각 해당 시편위치에 표시하는 화면출력을 제어하는 제어장치(10);

상기 제어장치(10)의 제어에 따라 상기 실리콘웨이퍼의 각 해당 시편위치에 상기 특성결과에 대응되는 색상을 화면으로 표시하는 표시장치(5);

상기 제어장치(10)의 제어에 따라 상기 실리콘웨이퍼(40)상의 측정대상 시편을 순차적으로 선택하는 프루브스테이션(20);

상기 제어장치(10)의 제어에 따라 상기 프루브스테이션(20)에 의해 선택된 시편에 역전압을 공급하며, 또한 상기 실리콘웨이퍼(40)의 누설전류를 상기 제어장치(10)로 제공하는 전원공급장치(30)를 구비함을 특징으로 하는 누설전류를 이용한 실리콘웨이퍼 특성판정장치

제1항에 있어서,

상기 실리콘상에 형성되는 산화막(41a)의 두께를 100-200Å으로 형성함을 특징으로 하는 누설전류를 이용한 실리콘웨이퍼 특성판정장치

제1항에 있어서, 상기 전원공급장치(30)는

인가전압 범위를 0-30V로 하고, 전압스텝을 0

제 1항에 있어서, 상기 제어장치(10)는

웨이퍼 전체 정보를 위한 컬러 매핑을 위한 누설전류의 범위를 1