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진공증착에 의한 피막 제조방법에 있어서,요구특성을 입력하는 단계;입력된 상기 요구특성을 기초로 수식모델을 기동하는 단계;기동된 상기 수식모델을 이용하여 공정변수를 제어하는 단계; 및상기 공정변수를 이용하여 피막을 제조하는 단계를 포함하는 진공증착에 의한 피막 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 수식모델을 기동하는 단계는 증착소스의 특성을 평가하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공증착에 의한 피막 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 수식모델을 기동하는 단계는 피막 제조시스템을 동기화시키는단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공증착에 의한 피막 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 수식모델을 기동하는 단계는 내장된 데이터베이스를 통해 피막의 최종 특성에 적합한 수식모델을 선정하는 것을 특징으로 하는 진공증착에 의한 피막 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 수식모델을 기동하는 단계는 상기 기동된 수식모델의 공정변수에 맞추어 변수제어장치에 명령을 내리는 것을 특징으로 하는 진공증착에 의한 피막 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 공정변수를 제어하는 단계는 상기 수식모델을 기동하는 단계로부터 받은 명령을 기초로 피막을 제조하는 것을 특징으로 하는 진공증착에 의한 피막 제조방법
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진공증착에 의한 피막 제조방법에 있어서,진단장치를 이용하여 시스템을 동기화하는 단계; 및피막의 특성 데이터베이스를 기초로 코팅용 수식모델 프로그램을 이용하여 피막의 특성을 요구특성에 일치시키는 단계를 포함하는 진공증착에 의한 피막 제조방법
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제 7 항에 있어서,상기 수식모델은 피막의 특성 평가데이터로 이루어지며 피막 제조장치 및 소스에 의한 차이를 시스템 진단을 통해 동기화시켜 해결하는 것을 특징으로 하는 진공증착에 의한 피막 제조방법
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제 7 항에 있어서,상기 피막의 특성을 요구특성에 일치시키는 단계는 상기 피막의 특성 데이터베이스로부터 변수 데이터를 추출하여 피막의 특성을 제어하고 예측하는 것을 특징으로 하는 진공증착에 의한 피막 제조방법
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제 8 항에 있어서,상기 수식모델은 특성 평가데이터로부터 해석학의 내삽법(보간법) 또는 외삽법(보외법)을 이용하여 결정되는 것을 특징으로 하는 진공증착에 의한 피막 제조방법
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제 8 항에 있어서,상기 시스템의 동기화는 플라즈마 진단장치, 증착률 측정기, 제어기및 잔류가스 분석기 중 선택된 적어도 하나에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는 진공증착에 의한 피막 제조방법
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진공증착에 의한 피막 제조시스템에 있어서,수식모델 프로그램;상기 수식모델 프로그램으로부터 명령을 받아 수행하는 변수제어 장치; 및상기 변수제어 장치로부터 데이터를 받아 피막을 제조하는 피막제조 장치를 포함하는 진공증착에 의한 피막 제조시스템
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제 12 항에 있어서, 상기 변수제어 장치는,진공용기;피막이 형성되는 기판;상기 기판상에 피막을 형성하기 위한 증착소스;플라즈마 진단장치; 및증착률 측정장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공증착에 의한피막 제조시스템
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