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하부에 위치한 진동체의 수직 방향의 변위를 측정하는 제1 센서;자신의 수직 방향의 가속도를 측정하고, 측정된 수직 방향의 가속도를 이중 적분함으로써, 자신의 수직 방향의 변위를 연산하는 제2 센서; 및상기 제2 센서에서 연산된 수직 방향의 변위에 기초하여, 상기 제1 센서에서 측정된 진동체의 수직 방향의 변위를 보정하는 보정 모듈을 포함하며,상기 제1 센서와 상기 제2 센서는 하나의 모듈로 통합되어 지지대에 고정되며, 상기 지지대의 진동에 따라 함께 진동하고,상기 제2 센서는, 자신의 수평 방향의 가속도를 측정하고, 상기 측정된 수평 방향의 가속도를 적분함으로써, 자신의 수평 방향의 변위를 연산하며,상기 보정 모듈은, 상기 연산된 수평 방향의 변위가 일정값 이하인 경우에만 상기 진동체의 보정된 수직 방향의 변위를 출력하는 변위 측정 장치
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제1항에 있어서,상기 진동체는,일정한 회전축을 중심으로 회전하는 회전체를 포함하는 변위 측정 장치
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제1항에 있어서,상기 제1 센서는, 비 접촉식 변위 센서를 포함하며,상기 제2 센서는, 3축 가속도 센서를 포함하는 변위 측정 장치
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제1 센서에서, 그 하부에 위치한 진동체의 수직 방향의 변위를 측정하는 제1 단계;제2 센서에서, 자신의 수직 방향의 가속도를 측정하고, 측정된 수직 방향의 가속도를 이중 적분함으로써, 자신의 수직 방향의 변위를 연산하는 제2 단계; 및보정 모듈에서, 상기 제2 센서에서 연산된 수직 방향의 변위에 기초하여, 상기 제1 센서에서 측정된 진동체의 수직 방향의 변위를 보정하는 제3 단계를 포함하며,상기 제1 센서와 상기 제2 센서는 하나의 모듈로 통합되어 지지대에 고정되며, 상기 지지대의 진동에 따라 함께 진동하며,상기 제2 단계에서, 상기 제2 센서는, 자신의 수평 방향의 가속도를 측정하고, 상기 측정된 수평 방향의 가속도를 적분함으로써, 자신의 수평 방향의 변위를 연산하는 단계를 더 포함하며,상기 제3 단계에서, 상기 보정 모듈은, 상기 연산된 수평 방향의 변위가 일정값 이하인 경우에만 상기 진동체의 보정된 수직 방향의 변위를 출력하는 단계를 더 포함하는 변위 측정 방법
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삭제
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제5항에 있어서,상기 진동체는,일정한 회전축을 중심으로 회전하는 회전체를 포함하는 변위 측정 방법
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제5항에 있어서,상기 제1 센서는, 비 접촉식 변위 센서를 포함하며,상기 제2 센서는, 3축 가속도 센서를 포함하는 변위 측정 방법
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