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TIN의플라즈마화학증착방법

  • 기술번호 : KST2015111392
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 내용 없음
Int. CL C23C 16/34 (2006.01.01) C23C 16/509 (2006.01.01)
CPC C23C 16/34(2013.01) C23C 16/34(2013.01)
출원번호/일자 1019900003896 (1990.03.22)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-0052953-0000 (1992.07.09)
공개번호/일자 10-1991-0016962 (1991.11.05) 문서열기
공고번호/일자 1019920002708 (19920331) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1990.03.22)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 천성순 대한민국 서울시노원구
2 김시범 대한민국 서울시서대문구
3 장동훈 대한민국 강원도강릉시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박장원 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, *층~*층 (논현동, 비너스빌딩)(박장원특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 서울시동대문구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 출원심사청구서
Request for Examination
1990.03.22 수리 (Accepted) 1-1-1990-0023631-06
2 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent
1990.03.22 수리 (Accepted) 1-1-1990-0023630-50
3 특허출원서
Patent Application
1990.03.22 수리 (Accepted) 1-1-1990-0023629-14
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
1991.10.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1990-0011945-94
5 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period
1991.11.25 수리 (Accepted) 1-1-1990-0023632-41
6 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period
1991.12.23 수리 (Accepted) 1-1-1990-0023633-97
7 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
1992.01.23 수리 (Accepted) 1-1-1990-0023635-88
8 의견서
Written Opinion
1992.01.23 수리 (Accepted) 1-1-1990-0023634-32
9 출원공고결정서
Written decision on publication of examined application
1992.03.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1990-0011946-39
10 등록사정서
Decision to grant
1992.06.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1990-0011948-20
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
1999.01.08 수리 (Accepted) 4-1-1999-0002352-05
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
1999.01.18 수리 (Accepted) 4-1-1999-0008675-76
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
1999.02.01 수리 (Accepted) 4-1-1999-0025779-69
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
1999.03.03 수리 (Accepted) 4-1-1999-0041039-77
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
1999.06.21 수리 (Accepted) 4-1-1999-0085486-82
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2004.01.14 수리 (Accepted) 4-1-2004-0001933-29
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2004.03.19 수리 (Accepted) 4-1-2004-0012166-74
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
20 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
21 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
22 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
23 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
24 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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TiCl4, N2를 반응기체로 사용하고 Ar 기체를 운반기체로 하여 이들 기체를 반응로 내부로 공급하고 RF 파워에 의한 글로우방전으로 피증착물의 표면에 TiN 보호피막을 형성시키는 방법에 있어서, 내부에 열선이 매입됨과 아울러 일측에 열전대가 설치된 애노드의 상면에 피증착물을 위치시킨 상태에서 증착온도 450-530℃, TiCl4/N2=1/20-1/25, 증착압력 2-3Torr의 증착조건으로 TiN의 플라즈마 화학증착방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.